近日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣智”）自主研发的G4.5Q OLED蒸镀设备正式出货国内显示头部企业。该设备主要面向玻璃基穿戴显示量产场景，支持叠层器件蒸镀，核心指标达到国际先进水平。此次该设备出货标志着国产中高世代 OLED 蒸镀设备实现量产交付落地，迈出规模化应用关键一步。
合肥欣智 G4.5Q OLED 蒸镀设备工艺设备搬入仪式现场
多项创新，技术国际先进
合肥欣智此次交付的G4.5Q OLED蒸镀设备在对位精度、成膜均一性、速率稳定性等多项关键指标上表现突出，达到国际先进水平。同时该G4.5Q OLED蒸镀设备还有两项高新技术：一是自动逆物流控制技术，突破传统蒸镀设备需多腔室配置才能实现叠层蒸镀的技术局限，推动蒸镀设备技术路线革新。二是点线源混蒸技术，点源阵列与线源协同混蒸工艺，通过独立闭环控制各蒸发源速率，解决叠层器件金属膜层与有机材料共混的行业难题，实现高比例、高均一性混合沉积。
合肥欣智 G4.5Q OLED 蒸镀设备工艺设备搬入现场
面向穿戴显示，精准匹配量产需求
G4.5Q OLED蒸镀设备可以面向玻璃基穿戴显示产品量产场景，适配智能手表、智能手环、AR/VR等智能眼镜“泛在显示”趋势，可精准匹配穿戴设备显示面板量产需求。设备用于OLED面板行业核心工艺制程的真空成膜环节，并支持叠层器件蒸镀，使客户在少量蒸镀腔室配置下即可高效完成叠层器件生产，提高产线运营效率，为下游终端产品升级迭代提供核心装备支撑。
截至目前，合肥欣智已搭建全世代线蒸发源自主技术平台，形成覆盖 G1、硅基、G4.5Q OLED 蒸镀设备的完整产品矩阵。此次合肥欣奕华 G4.5Q OLED 蒸镀设备实现量产交付，有望改善国外企业长期主导全球高端蒸镀设备市场的行业现状，也将进一步深化产业链上下游协同发展。合肥欣智将持续推动国产高端蒸镀装备技术迭代，深化产业协同，助力我国新型显示产业实现高质量发展。
