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高带宽存储器专利布局分析

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高带宽存储器(HBM)具备实现大容量和高传输速率特性,是支撑人工智能发展的重要技术之一。笔者聚焦HBM关键技术分支,同时分析研究HBM标准相关专利,梳理侵权风险点、可行的替代路径、标准专利布局策略、下一代标准技术预测,以期助力企业掌握标准制定话语权。

专利申请整体态势

人工智能迅猛发展使得HBM迎来二次快速增长,美、韩技术具有一定优势,例如美国提前布局欧洲。中国虽起步较晚但发展较快,应重视欧洲、日本等市场的专利布局。

国外行业巨头的技术垄断呈现设计与制造一体化(IDM)模式,也就是在器件制程、集成封装、I/O(输入/输出)接口方面都实力强劲;国内企业暂无IDM实力,高校、科研院所针对性研发欠缺;三星等知名企业的优异市占比得益于产学协力,国内需加强产学研联合以及产业链联合。

关键技术分支分析

2D DRAM(平面动态随机存储器)技术进入二次发展期,韩、美领先优势明显。3D DRAM专利申请量从2018年开始逐年上涨,是存储厂商迫切想突破光刻极限的新路径,中、美、韩均在积极布局,国内外差距较小,中国主要集中在本国布局。

随着尺寸缩放难度的增大,2D DRAM晶体管、电容器逐渐成熟,未产业化的技术空白点较少。短期内,Finfet(鳍式场效应晶体管)、高k介质材料(高介电常数材料)仍是目前主流结构和材料,应及时跟随。垂直沟道晶体管、沟道掺杂来解决GIDL(栅诱导漏极泄漏电流)、主体与浮体连接抑制浮体效应是4F 2 DRAM的关键技术,应聚焦实现外围的突破。

在3D DRAM方面,对于有电容3D DRAM,目前国内外差距较小。三星提出的基础结构产业化前景明确,其他企业尚未形成固定路线;国内在IG-ZO(铟镓氧化物)沟道材料以及超弦结构上有技术实力,中期可以聚焦于此继续发力,推动国内产业化。

在无电容3D DRAM方面,国内外技术路线各不相同,国内申请人关注2T0C(两个晶体管无电容)、3T0C(三个晶体管无电容),国外申请人利用浮体效应实现无电容3D DRAM,研究活跃度高,但布局尚未完成。中期可以聚焦2T0C、3T0C、浮体晶体管加强布局。长期来看,国外初创公司NEO半导体公司均有浮体基础专利,技术实力较强。

集成封装作为实现HBM(高带宽存储器)的关键技术,专利申请量在2006年后逐步增长。美、韩具备先发优势,掌握基础核心专利,中国起步虽晚但发展较快。TSV(硅通孔)在HBM封装成本中占30%,成本占比最高,为最核心的工艺,申请量占比高于键合。中国企业创新能力需进一步提升。

在TSV方面,短期紧跟电学性能解决,围绕通孔制造、填充信号干扰技术创新;中期转向功率TSV和信号TSV进行单独设计,以保证集成度,同步改善TSV热学性能;长期来看,寻求硅光子技术与TSV结合的产业化。

在键合方面,短期聚焦热压非导电薄膜、散热等。中期聚焦混合键合焊盘结构、工艺改进提高良率和可靠性。长期Xperi(艾克斯珀)公司拥有基础技术,与行业龙头均有合作,国内HBM企业可以积极寻求合作;中芯国际、长江存储用有混合键合成熟技术,可以联合开发。

高带宽存储器的I/O接口技术在全球范围的专利申请量快速增长,其技术主要来源于美、韩,二者在I/O接口上具有强大的技术研发实力,并在全球多个国家或地区均有不同程度的专利布局。我国企业技术研发处于起步阶段。

行业巨头主导I/O方面相关标准发展,国内整体实力较弱。短期来看,性能测试类和可靠性保障类中的外围电路搭配或组合准入门槛较低,入门级企业可加强布局;长鑫等可以考虑在占空比监测和校正方面加强技术积累。中期聚焦可靠性保证技术的内部电路结构,性能提升类外围布局。长期强化性能提升类布局质量。

HBM标准相关专利分析

HBM目前在国内处于初步阶段,需要寻求突破,高校、科研院所几乎无参与,企业对于标准相关专利布局意识不强。

通过分析HBM1—3七个版本标准文件可知,HBM1&2标准相关专利侵权高风险点包括伪通道模式、模式寄存器与IEEE 1500测试结构等;HBM3标准相关专利侵权高风险点包括刷新管理、片上ECC(错误检测和纠正)和占空比调节器(DCA)及占空比监视器(DCM),应提前防范相关专利侵权风险。

HBM标准相关专利的布局,近年来成为领域内龙头企业的竞争焦点。韩、美公司在2010年便开始重视相关专利申请,国内创新主体起步较晚。SK海力士2010年起开始布局HBM1性能提升类高相关专利,充分转化为市场占有率。三星2020年后积极布局HBM3性能提升类高相关专利,市场占有率相应提升,与SK海力士竞争激烈。

梳理HBM1—3标准技术演进可知,在现有标准技术方面,分布式架构、IEEE 1838测试架构等是可能的技术发展方向。可能被纳入标准的技术包括:内置自测试(BIST)电路等6个方面,要注意提前布局专利和防范知识产权风险。

HBM领域内的合作与竞争

HBM领域近年来诉讼频发,90%案件诉讼地在美国,近年来聚焦点是I/O,2021年至2022年涉及I/O诉讼达10件,而I/O涉及标准,且由于其经济价值高容易被NPE(非专利实施主体)购买并用来维权。

笔者选择HBM领域较为典型的两个案例进行诉讼过程分析。从案件发起原因来看,Netlist(莱特力斯)与三星案件是由于订单供应问题导致包含许可协议的整个协议失效。因此,签订交叉许可协议尽量与联合开发协议或供应协议分开签订,避免协议之间相互受影响。TBT(NPE)与三星案件是由于三星与NPE签订的协议中没有约束不起诉协议是否针对子公司,在与NPE签署不起诉约定时,应注意约束NPE的所有子公司。

从诉讼过程来看,Netlist与三星案件,三星在诉讼过程采用RAND(合理、无歧视)原则抗辩降低赔偿额,还联合美光发起多方复审,该案件目前专利权被宣告无效。国内企业在涉标案件应诉时应充分了解标准制定原则,采用RAND原则或发明人参与标准制定等抗辩降低赔偿额,另外企业之间可建议应诉联盟,联合发起无效或多方复审。TBT与三星案件中,三星在收到侵权通知时利用先诉原则,把案件转移到不是对NPE友好的法院审理,目前相关案件已和解。美国有对NPE友好的法院,国内创新主体应了解诉讼国家司法特点,可使用先诉原则将NPE诉讼至其他法院,占据主动权。

结论建议

一是政产学研聚力加快突破“卡脖子”技术。加强政策引领,制定研究针对HBM可替代技术的政策,设立基础学科与专项课题项目,加强高校、科研院所研发投入。国内创新主体应相互协同,弥补IDM弱势,加强国内重点企业和科研机构分工合作。在实现技术攻关的同时,通过布局性能提升类专利,参与标准制定,提升国际竞争力。

二是根据分级分类体系实现“卡脖子”技术跟随、突破、积累。例如在2D DRAM方面聚焦Finfet、高k介质材料并实现跟随,在3D DRAM 2T0C、3T0C等方面实现突破,长期来看通过人才培养实现与技术初创公司的合作,实现无电容3D DRAM和混合键合技术优势的积累。

三是多措并举强化知识产权保护。对于跟随类技术采用回避式布局策略,突破类技术采用地毯式保护方式,积累类技术采用核心与外围组合式。HBM标准存在侵权高风险点,应加强防范。在合作时,应避免许可协议或NPE合同中的陷阱。在涉标案件应诉时,应灵活应用RAND原则抗辩、避开NPE友好法院等,同时可通过行业协会进行联盟发起无效,提升应诉实力。

(国家知识产权局专利分析普及推广项目高带宽存储器课题组)

(编辑:刘珊)

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