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科学家成功制备1.3微米超薄电极,5000次循环后仅出现1.7%形变,与工业化器件生产工艺高度兼容

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来源:DeepTech深科技

对于陈晓东院士,很多材料领域的从业者都并不陌生。目前,任职于新加坡南洋理工大学的他已经培养出大量的“材料人”,其中有多位已经回国发展。来自河北唐山的江智正是其中一位,他现在正在该课题组从事博士后研究。

近日,在博后导师陈晓东以及博士导师染谷隆夫(Takao Someya)的指导下,江智制备出一种微米厚的超薄电极,其拉伸度高达 300%,可以承受 20 克的重量,历经 5000 次循环仅出现 1.7% 的变化。

就电子皮肤而言,这款超薄电极已能完全满足各方面的要求,其电学性能优于商业电极,且具备商业电极所不具备的皮肤兼容性和佩戴舒适性,可用于长时间地记录体表的电生理信号,比如心电信号、肌电信号、脑电图信号等。

就可植入电子而言,超薄电极具备更加出色的生物兼容性,有望成为一种新型神经界面,可用于人机交互、假肢、神经类疾病治疗等。

“迈向无感知应力限制的电子学的一大步”

超薄柔性电子器件的研究起源于 2010 年左右,通常指的是器件整体厚度低于 10 微米的柔性电子器件。

极薄的电子器件厚度,可以在最大程度上降低电子器件的刚度,让电子器件具有良好的变形能力,从而与不规则曲面形成良好的共形贴附,比如形成具有一定纹理的皮肤、或具有三维形状的器官。

同时,当超薄的柔性电子器件植入到动物体内比如大脑、心脏和周围神经等,一般不会引发明显的排异反应,故在可穿戴和植入等场景具有良好的应用潜力。

然而,此前的超薄柔性电子器件大多构筑在塑性聚合物基底上,可拉伸性比较差,当贴附在关节处的皮肤、心脏、肌肉、脊髓和周围神经等,用户往往无法忍受长期的佩戴。

目前,能用于上述场景的可拉伸电子器件的厚度,几乎都在几十到几百微米,使用时舒适性较低,并且存在器件和组织接触不良的问题,这会影响数据采集的可靠性、信号传递的稳定性、以及生物兼容性等。

在这项工作中,江智使用美国药监局已批准的弹性聚合物聚二甲基矽氧烷(Poly(dimethylsiloxane),PDMS),通过改变旋涂速率和 PDMS 的浓度,制备出厚度为 1.3 微米的超薄可拉伸 PDMS 薄膜,并以此做为基底和封装层材料。

Nature Electronics

江智是第一作者,陈晓东院士、日本理化学研究所新兴物质科学中心福田健次郎(Kenjiro Fukuda)教授和染谷隆夫(Takao Someya)教授担任共同通讯作者。

总体而言,这一成果证明当超薄电子器件用于体内植入时,具备一定的优越性,也为设计神经电极、以及其他植入性器件提供了新思路。

同时,在极薄可拉伸电极的课题领域内,该成果也是一项原始型研究。它有望用于各种生物医学应用,包括可穿戴传感器、生物电气等。

一位评审专家表示:“与之前由该团队开发的非可伸缩超薄器件相比,这种超薄可伸缩电子器件应该可以带来更加有前途、更加实际的应用价值,可被视为是迈向无感知应力限制电子学的一大步。”

一个人跨越两个国家的研究

江智表示:“这个课题起源于我在日本工作时,和另一位论文作者(钟俊文博士)的一次讨论。”

当时,他们的目标是制备超薄可拉伸传感器,关键点在于制备微米厚的超薄可拉伸导体。

考虑到电子器件通常具备多层结构,而超薄器件的操作又比较困难。因此,江智希望在整个加工工艺中,全部使用最成熟的电子加工工艺,只有这样才有望保证最终的器件成品率。

于是,他开始在超薄 PDMS 薄膜上对镀金膜进行热蒸,希望制备出可拉伸的超薄导体。尽管尝试了调整热蒸镀的各种工艺,比如蒸镀速率、金膜厚度、蒸镀时腔体温度以及样品的后处理工艺等,但是在超薄 PDMS 薄膜上所制备的金膜,始终没有生成良好的可拉伸性。

屡屡失败之下,江智通过阅读文献发现,PDMS-Au 实现可拉伸的原因在于微裂纹的扩展,而微裂纹是 PDMS 与 Au 的热膨胀系数不匹配所导致的。

由此可以推测,对于在金膜上生成微裂纹来说,厚度是一项关键因素。

受到胶带法制备单层石墨烯的启发,江智尝试将超薄的 PDMS,贴在厚的 PDMS 涂敷的玻璃基底上。蒸镀完金膜之后,再将 PDMS-Au 薄膜从基底上揭下来。

这时,所制备的金膜终于生成微裂纹的结构,也实现了良好的可拉伸性。之后,他又将该课题从材料表征、生长机理、器件制备及优化、和器件应用等角度推进。

其表示:“实验期间,我也经历了工作单位的变更,从日本来到新加坡。幸运的是两个单位的导师都很支持我继续推进,也很幸运可以得到其他作者的大力支持。”

而且,江智的单位变化节点,发生在国外疫情比较严重的时期。期间,部分实验的进展相对较慢,需要同时协调实验部分(仪器培训、工艺优化、开展合作等)和非实验部分(仪器购买、安装、调试、维修等)。虽然过程很简单,但是这一阶段的经历,也让他更加熟悉如何建立一间实验室。

另据悉,江智本科和硕士毕业于哈尔滨工业大学,之后免试入学日本东京大学和日本理化学研究所。

博士毕业后,他先后从事了三站博士后研究,专注于开发面向实际应用的超薄柔性电子器件系统。

目前,其所在团队正与生物学家开展深度合作,以期开发更多具备生理学功能的超薄可拉伸器件。

参考资料:

1.Jiang, Z., Chen, N., Yi, Z. et al. A 1.3-micrometre-thick elastic conductor for seamless on-skin and implantable sensors. Nat Electron 5,784–793 (2022). https://doi.org/10.1038/s41928-022-00868-x

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