原标题：台积电5nm明年量产 2022年量产3nm 来源：中关村在线
半导体行业的发展一直是备受重视，在台系厂商里，台积电的竞争力十分巨大。近日，台积电表示5纳米将于明年上半年量产，预计投入资金150亿美元左右，基本与今年持平。
除此之外，全新的研发中心明年第1季动工，预计2021年完工启用，支持3纳米以下及未来20年更先进技术研发计划。
台积电5纳米制程是全球第一家采用极紫外光（EUV）设备，提供晶圆代工服务的晶圆厂，位于南科Fab 18 第一期和第二期工厂房均已完成装机、积极进行量产前的清洗作业。至于Fab 18的第四到六期计划，将导入最先进的3纳米技术，再次领先全球。台积电3纳米制程预计2022年量产。位于新竹宝山的研发中心，于2020年第1季动工，2021年完工，会是台积电3奈米及未来20年先进技术的研发基地。
(7341003)
