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冠石科技:光掩膜版设备已到位,首批交付预计2024年3季度,电子束掩膜机成关键设备

问董秘

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投资者提问:

董秘您好!请问用于光掩膜版的设备是否已经到位?该设备是不是光掩模版40纳米技术节点量产及28纳米技术节点研发的重点设备?谢谢

董秘回答(冠石科技SH605588):

尊敬的投资者,您好!目前,公司半导体光掩膜版项目涉及的关键设备全部为进口设备,设备交付时间18-48个月不等,首批设备预计交期为2024年3季度。近日宁波冠石引入的首台电子束掩膜版光刻机,是光掩膜版40纳米技术节点量产及28纳米技术节点研发的重点设备。感谢您的关注!

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