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投资者提问:请问之后高阶制的微纳米级别的芯片是否都将使用臭氧清洗呢,谢谢

问董秘

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投资者提问:

请问之后高阶制的微纳米级别的芯片是否都将使用臭氧清洗呢,谢谢

董秘回答(国林科技SZ300786):

尊敬的投资者,您好。高浓度臭氧水发生器设备主要用于芯片高阶制成的清洗,随着消费电子的应用越来越普遍,芯片行业对于栅极线宽的要求越来越高,线宽纳米级别越小,对于清洗工艺要求也越高。感谢您的关注。

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