投资者提问：
上海微电子国产28nm光刻机，由于美国制裁，无法从日本进口193nm激光源，导致原本2022年交付的光刻机，延迟了几年。国产激光器方面，英诺激光与上海微电子合作研发光刻机激光源项目，请问合作进展如何？谢谢
董秘回答(英诺激光SZ301021)：
尊敬的投资者，您好！感谢您的关注，预祝您新春吉祥！
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