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投资者提问:董秘你好:请问公司l线光刻胶和arf光刻胶,认证到什么时候?已...

问董秘

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投资者提问:

董秘你好:请问公司l线光刻胶和arf光刻胶,认证到什么时候?已经快一年了,还没有通过。请问EUV光刻胶,样品做出来没?如果做出来,是不是得用EUV光刻机测试?新阳没有EUV光刻机,是公司自己购买,还是到德国Heraeus(贺利氏科技集团)测试?

董秘回答(上海新阳SZ300236):

尊敬的投资者:你好!公司ArF光刻胶尚在认证。EUV光刻胶尚在研发阶段。公司与贺立氏集团的合作主要是光刻胶原材料开发等相关产品,通过双方各自在产品领域内的优势互补及早实现光刻胶产品国产化的自主可控。

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