投资者提问：
贵公司最近向中芯国际交付的设备有什么功能？
董秘回答(精测电子SZ300567)：
您好！12寸独立式光学线宽测量机台（OCD）是该类型的国内首台机台，主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测，并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）是上海精测半导体技术有限公司的另一项主力产品，此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法，将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。谢谢！
免责声明：本信息由新浪财经从公开信息中摘录，不构成任何投资建议；新浪财经不保证数据的准确性，内容仅供参考。
