投资者提问：请问贵公司的低能大束流离子注入机与中国电科的高能离子注入机，有...

投资者提问：

请问贵公司的低能大束流离子注入机与中国电科的高能离子注入机，有何差别？

董秘回答(万业企业SH600641)：

尊敬的投资者您好，高能离子注入机与低能大束流离子注入机的区别主要是能量的高低和束流的大小，由于集成电路制程向14nm及以下继续缩小，源漏极的结深相应减小，为了实现浅层掺杂，低能大束流（高剂量/浅度掺杂）日渐成为主流，其技术难度也相对较高。感谢您对万业企业的关注。