投资者提问:化学机械抛光(英语:Chemical-Mechanical P...
问董秘
投资者提问:
化学机械抛光(英语:Chemical-Mechanical Polishing,缩写CMP),又称化学机械平坦化(英语:Chemical-Mechanical Planarization),是半导体器件制造工艺中的一种技术,用来对正在加工中的硅片或其它衬底材料进行平坦化处理。请问公司是否掌握化学机械抛光技术(CMP)?
董秘回答(三超新材SZ300554):
您好,公司在研的产品为CMP-DISK,用于在线修整CMP-PAD的一种金刚石工具,是CMP加工工艺中的一种重要耗材,。谢谢您的关注!
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