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投资者提问:采用四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅、三氯氢硅歧化制备硅烷、硅烷流化...

问董秘

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投资者提问:

采用四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅、三氯氢硅歧化制备硅烷、硅烷流化床法制备多晶硅是业内公认的低成本多晶硅生产路线,是中国多晶硅行业的希望所在。同时高纯硅烷气本身也是一个高附加值的产品,具有广阔的应用前景。高纯硅烷气还是生产高纯多晶硅(≥11N)的原料,用硅烷热分解(CVD)发生产的高纯多晶硅广泛应用于半导体行业。请问相关产品可以用于生产IGBT芯片?

董秘回答(精功科技SZ002006):

尊敬的投资者,硅烷流化床法是制备多晶硅原材料的一种技术。多晶硅原料需要经过单晶提拉、区熔以及其他多道工序之后生产制成的硅片,才能成为用于生产IGBT芯片的原料,感谢您对精功科技的关注!

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