投资者提问:公司光刻机领域去年推出新产品MiScan200,应用场景为集成...
问董秘
投资者提问:
公司光刻机领域去年推出新产品MiScan200,应用场景为集成电路、MEMS、微光学、传感器,是否代表着公司的光刻机拥有了一定程度的芯片制造能力。这个机型已经出口欧洲,他拥有什么优点对比同类产品有什么优势?
董秘回答(苏大维格sz300331):
您好,公司MiScan系列激光图形化直写设备采用大功率激光器(可选配DPSSL紫外激光器),可实现0.8um的亚微米分辨率光刻及0.5um的套刻精度,适用于集成电路,MEMS、微光学、微流体、传感器、计算机全息图的小批量生产。该系列设备省去了繁琐的掩膜加工步骤,提供快速,高效和低成本光刻制程解决方案。目前,公司该系列设备不涉及芯片制造领域,感谢您对本公司的关注!