全球首条35微米功率半导体超薄晶圆工艺及封装测试生产线落地上海
(来源:IT之家)
IT之家 3 月 5 日消息,据上海松江官方今日消息,位于松江综保区的尼西半导体科技(上海)有限公司,已经建成全球首条 35 微米功率半导体超薄晶圆工艺及封装测试生产线。
官方介绍称,把一片晶圆磨到只有 35 微米厚,这一厚度突破让功率芯片的导通电阻和热阻大幅降低,显著提升了器件的能效与散热性能,为新能源汽车、5G 基站等高功率密度应用场景提供了核心支撑,为国产器件进入高压平台、快充等市场提供了量产底座。
晶圆薄到 50 微米以下后,脆得像薯片,稍微受力就可能裂开。尼西半导体与设备供应商一起攻关,把加工精度控制在 35±1.5 微米,碎片率压到 0.1% 以内;把研磨产生的应力损伤,通过化学腐蚀消除掉 92%;切割环节也换了思路,不用传统刀片,而是采用定制化激光,热影响区小,切出来的良率达到 98.5%。
晶圆做薄后,载流子跑通芯片的时间缩短 40%,发热量下降,导通损耗减少。热阻比 100 微米的标准品下降 60%,相当于给芯片装上了更好的散热片。封装环节也跟着受益 —— 可以做双面散热,模块热阻再降 30%,功率循环寿命翻了 5 倍。
官方还提到,从键合、研磨、切割到测试环节,产线均配备专用设备,其中测试环节单日产出可达 12 万颗成品。
此外,该产线中的关键设备由公司工程师与国内设备厂商联合研发,通过协同创新实现了核心装备的自主可控,填补了国内相关技术空白。
IT之家查询公开资料获悉,尼西半导体科技(上海)有限公司成立于 2007 年 8 月 21 日,是美商万国半导体(AOS)在中国设立的主要半导体生产基地之一,由万国半导体(香港)股份有限公司全资控股。