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中微公司丛海透露近3-5年将开发102个新设备 研发总投资近130亿元

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观点网讯:据消息,10月14日,中微公司资深副总裁、全球业务管理部、等离子刻蚀产品总部、外延产品部及介质薄膜产品部总经理丛海表示,中微公司现有54种高端设备产品系列。

丛海称,公司研发周期从3-5年缩短至2年以内,每年开发20多种新设备。

其透露,中微在近3到5年,将累计开发102个新设备,研发总投资近130亿元。所开发的设备包括集成电路前道所需的高端设备、后道先进封装所需的设备,以及泛半导体领域所需的设备。

丛海表示:“在今后五到十年,中微和合作伙伴共同努力,将覆盖60%的集成电路高端设备市场”。

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