普达特科技（00650）发布公告，随着本公司各类半导体设备平台持续交付客户与通过验证，本公司已积累大量的量产经验并获得行业认可，从而使本公司具备了取得更大批量正式订单的有利条件。自该公告日期起，本公司共取得了29台新设备订单，其中14台为半导体设备新订单，包含单片清洗设备与炉管LPCVD设备。该等设备系统主要应用于客户的高端特色工艺半导体与第三代半导体产线，覆盖晶圆前后段工艺应用按机台数从多到少依次为：
1）OCTOPUS与OCTOPUS-SP单片清洗设备，用于12寸晶圆背面清洗、Solvent清洗、RCA清洗等工艺，其中含四台硫酸清洗设备；
2）CUBE单片清洗设备，用于背面清洗与刻蚀工艺；及
3）炉管LPCVD设备，用于12寸SiN薄膜沉积工艺。
该等设备订单均为正式订单，暂未确认收入。本公司将在客户通过验证后确认收入。
本公司自主研发的半导体清洗与炉管LPCVD/ALD设备平台，均可覆盖成熟制程与先进逻辑、存储制程，拥有对标国际领先设备厂商的技术性能与行业领先的设备生产力。
