超纯应材:5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产 滚动播报 10.20 11:45 超纯应材10月20日在互动平台表示,公司5nm及以下制程刻蚀设备核心零部件已稳定量产。责任编辑:于健 SF069