中微公司尹志尧：绝大部分刻蚀设备的零部件已经实现国产化

3月19日，中微公司董事长、总经理尹志尧在中微公司2023年度业绩说明会上表示，中微公司绝大部分刻蚀设备的零部件已经实现国产化，而且在很短的时间内，将全面实现自主可控的基础。