奥普光电：高精尺年内可完成内部测试验证 明年开始可与外部进行适配

奥普光电12月16日在互动平台表示，超精尺的研发周期视使用需求及技术积累情况而定，一般研发周期较长。光栅尺是半导体设备的核心部件，其精度要求取决于整机的技术指标需求。高精尺年内可完成内部测试验证，明年开始可与外部进行适配。