中微公司：公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多先进工艺的制程要求

有投资者在互动平台向中微公司提问：请问贵司的3nm刻蚀机是否已经量产？中微公司回应：公司开发的刻蚀设备能够覆盖诸多先进工艺的制程要求。公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从65纳米到14纳米、7纳米和5纳米及更先进的集成电路加工制造生产线及先进封装生产线。