11月15日消息，国家知识产权局信息显示，成都超纯应用材料股份有限公司申请一项名为“一种等离子刻蚀腔室的导电硅涂层铝合金部件及制备方法”的专利。申请公布号为CN123095625A，申请号为CN202611011223.7，申请公布日期为2026年11月13日，申请日期为2026年7月8日，发明人柴杰、王力潇、施鹏远，专利代理机构成都蓉创智汇知识产权代理有限公司，专利代理师赵雷，分类号H01J37/32、H10P72/00、H10P50/20。
专利摘要显示，本发明公开了一种等离子刻蚀腔室的导电硅涂层铝合金部件及制备方法，包括铝合金基体，铝合金基体的裸露铝合金表面设有相邻的隔离区和导电区，所述隔离区的表面设有隔离层，导电区为包括位于裸露铝合金表面的导电硅涂层，所述导电硅涂层与其下方的裸露铝合金表面形成电性导通，能够在等离子体暴露区域提供硅材料表面以替代纯硅零部件，同时通过导电硅涂层与铝合金裸露表面的电学导通降低电荷积累和异常放电风险。
超纯应材是国内半导体精密零部件领域领先企业，专注为芯片制造等高端领域提供高精密特种零部件产品，具备全流程工艺技术壁垒。公司成立于2005年8月25日，于2026年8月11日在深圳证券交易所上市，注册及办公地址均位于四川省成都市。
公司主营业务面向芯片制造、精密光学等领域，提供经材料改性、精密表面加工、精密清洗和特殊涂层工艺后的精密零部件产品及服务，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，覆盖靶材、半导体材料、光学等概念板块。
2026年三季度，公司实现营业收入4.9亿元，在27家同行业可比公司中排名第22位，同期行业营收第一名北方华创达314.67亿元，第二名中微公司为103.26亿元，行业平均营收32.99亿元，行业中位数为13.34亿元；当期实现净利润1.85亿元，行业排名第14位，同期行业净利润第一名北方华创为51.94亿元，第二名中微公司达40.78亿元，行业平均净利润7.46亿元，公司净利润水平与行业中位数持平。
| 指标类型 | 当期数值 | 行业排名/总家数 | 行业头部企业数值 | 行业平均数 | 行业中位数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 4.9亿元 | 22/27 | 北方华创314.67亿元、中微公司103.26亿元 | 32.99亿元 | 13.34亿元 |
| 净利润 | 1.85亿元 | 14/27 | 北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元 | 7.46亿元 | 1.85亿元 |
成都超纯应用材料股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种化学机械抛光后的氧化钇膜层的清洗凝胶及其制备方法及刻蚀机的介电窗口氧化钇膜层化学机械抛光后的清洗方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611098898.X | 2026-07-23 | CN123004493A | 2026-10-30 | 柴杰、李沛鸿、郭靖、张驰 |
| 2 | 一种半导体设备石英管内壁多晶硅薄膜的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611093980.3 | 2026-07-22 | CN122980023A | 2026-10-27 | 柴杰、王康 |
| 3 | 一种半导体用无金属烧结助剂堇青石陶瓷体的分段烧结制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611023186.1 | 2026-07-10 | CN122916642A | 2026-10-16 | 柴杰、何静、张积玮、赖洪岚、叶明亮 |
| 4 | 一种等离子刻蚀腔室的导电硅涂层铝合金部件及制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611011223.7 | 2026-07-08 | CN123095625A | 2026-11-13 | 柴杰、王力潇、施鹏远 |
| 5 | 基于环形气幕保护的静电吸盘吸附介质层的喷涂方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610999509.4 | 2026-07-07 | CN122707074A | 2026-09-08 | 柴杰、施鹏远 |
| 6 | 真空离子源刻蚀腔上顶板及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610999617.1 | 2026-07-07 | CN122727706A | 2026-09-11 | 施鹏远、柴杰、龚德国、谢亮君 |
| 7 | 一种石墨支撑的碳化硅-金刚石复合膜层及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610976967.6 | 2026-07-02 | CN122522213A | 2026-08-07 | 柴杰、廖源 |
| 8 | 一种无碳残留氮化铝陶瓷基板及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610840554.5 | 2026-06-11 | CN122586578A | 2026-08-18 | 柴杰、赖洪岚、张积玮、何静、叶明亮 |
| 9 | 一种高弹性模量氮化硅陶瓷及其制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610825777.4 | 2026-06-09 | CN122725873A | 2026-09-11 | 叶明亮、柴杰、张积玮、何静、赖洪岚 |
| 10 | 铜管水冷等离子石英管用导热硅橡胶及其制备、装配方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610687353.6 | 2026-05-19 | CN122213917A | 2026-06-16 | 柴杰、赵邦垚、郭靖 |
| 11 | 一种静电吸盘的多层梯度复合绝缘结构及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610579090.7 | 2026-04-29 | CN122121621A | 2026-05-29 | 柴林、施鹏远 |
| 12 | 一种基于分段通氧煅烧制备蚀刻用高纯氧化钇陶瓷的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610510106.9 | 2026-04-17 | CN122403983A | 2026-07-17 | 叶明亮、柴杰、张积玮 |
| 13 | 一种半导体设备铝合金零部件基体表面制备氟化保护膜的方法及半导体设备铝合金零部件 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610495533.4 | 2026-04-15 | CN122543023A | 2026-08-11 | 柴杰、张驰 |
| 14 | 一种同质法制备尖端半导体自支撑膜的方法及自支撑膜 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610452379.2 | 2026-04-08 | CN122341080A | 2026-07-03 | 陈文杰、柴杰 |
| 15 | 一种石英舟表面绝缘薄膜的静电喷涂方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610452414.0 | 2026-04-08 | CN122377703A | 2026-07-14 | 陈文杰、柴杰 |
| 16 | 一种半导体领域有机-无机复合涂层制品的制备方法及制品 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610295122.0 | 2026-03-11 | CN122141932A | 2026-06-05 | 柴杰、陈文杰 |
| 17 | 一种用于制备氮氧化铝粉体的气氛连续烧结炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510707267.2 | 2025-05-29 | CN120333156A | 2025-07-18 | 齐建起、黄旭、卢开雷、周小兰、陈胜元、卢铁城、何利文、柴杰 |
| 18 | 一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202410477878.8 | 2024-04-19 | CN118063196B | 2024-07-19 | 柴杰、王力潇 |
| 19 | 一种铌酸铋钙基铋层状结构铁电压电陶瓷及其制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202410125687.5 | 2024-01-30 | CN117964359B | 2026-03-03 | 柴杰、王丹 |
| 20 | 一种石墨碳化硅复合材料及石墨表面碳化硅的沉积工艺 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202311629512.X | 2023-12-01 | CN117328036B | 2024-04-05 | 柴杰、白秋云 |
| 21 | 一种氧化铝抛光液及其制备方法 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310154143.7 | 2023-06-29 | CN116515401B | 2025-04-01 | 柴杰、刘金凤 |
| 22 | 一种高强度、低密度碳化硅及其制备方法和应用 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310745155.7 | 2023-06-25 | CN116496103B | 2023-08-25 | 叶明亮、柴杰 |
| 23 | 一种反应烧结碳化硅及其湿法成型制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310680023.0 | 2023-06-09 | CN116425550A | 2023-07-14 | 叶明亮、柴林 |
| 24 | 一种真空镀膜机坩埚陶瓷套 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202320923132.6 | 2023-04-23 | CN219385302U | 2023-07-21 | 姜波 |
| 25 | 一种可翻转式校正板装置及真空镀膜机 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202320923125.6 | 2023-04-23 | CN219637325U | 2023-09-05 | 陈志勇 |
| 26 | 一种无压烧结碳化硅素胚中间体及碳化硅陶瓷与制备方法 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310433855.2 | 2023-04-21 | CN116143523B | 2023-07-28 | 柴林、叶明亮、李成安、范国忠 |
| 27 | 一种镀膜支架及镀膜机 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202320793981.4 | 2023-04-12 | CN219363784U | 2023-07-18 | 苏云飞 |
| 28 | 一种镀膜用的钼舟的制作工装 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202320794031.3 | 2023-04-12 | CN219401848U | 2023-07-25 | 强永武 |
| 29 | 一种基于注凝成型的氧化铝陶瓷及其制备方法 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310310030.1 | 2023-03-28 | CN116023124B | 2023-07-25 | 柴林、李成安、叶明亮、王力潇 |
| 30 | 一种适用于多型号环抛机的沥青现场浇注装置 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202320542101.6 | 2023-03-20 | CN219359213U | 2023-07-18 | 刘俊呈 |
| 31 | 一种勃母石溶胶分散剂、制备方法及其应用 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310201136.8 | 2023-03-06 | CN116081668B | 2023-07-25 | 柴林、杨军 |
| 32 | 一种小磨头抛光石英的工艺方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202310154164.9 | 2023-02-23 | CN116100376A | 2023-05-12 | 柴林、李青松 |
| 33 | 一种碳化硅基材的连接材料、制备方法和应用 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202310065945.0 | 2023-02-06 | CN115806443B | 2023-07-14 | 柴杰、叶明亮 |
| 34 | 一种定向CVD碳化硅沉积固定装置 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202222872459.3 | 2022-10-28 | CN218710827U | 2023-03-24 | 白秋云 |
| 35 | 一种碳化硅化学气相沉积设备气体混合装置 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202222764182.2 | 2022-10-20 | CN218372513U | 2023-01-24 | 白秋云 |
| 36 | 一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202222764385.1 | 2022-10-20 | CN218689782U | 2023-03-24 | 白秋云 |
| 37 | 一种大尺寸AlON透明陶瓷的流延成型生产方法 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN202211191240.5 | 2022-09-28 | CN115636672B | 2023-09-19 | 卢铁城、杜文欣、齐建起、柴杰、卢开雷、周小兰、何兵、黄旭 |
| 38 | 一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积设备 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202221046233.1 | 2022-04-29 | CN217628611U | 2022-10-21 | 白秋云 |
| 39 | 一种CVD碳化硅沉积处理设备 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202221044071.8 | 2022-04-29 | CN217895744U | 2022-11-25 | 白秋云 |
| 40 | 一种大小可调节的PVD镀膜夹具 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202021162632.5 | 2020-06-20 | CN212834007U | 2021-03-30 | 白秋云 |
| 41 | 一种蒸发镀膜用回转工装 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202021158371.X | 2020-06-20 | CN212834006U | 2021-03-30 | 白秋云 |
| 42 | 一种真空镀膜翻转工装 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202021162634.4 | 2020-06-20 | CN212834008U | 2021-03-30 | 白秋云 |
| 43 | 一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202021158166.3 | 2020-06-20 | CN212834005U | 2021-03-30 | 白秋云 |
| 44 | 一种SiO2基底镀Y2O3膜用夹具 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202020736676.8 | 2020-05-07 | CN212834004U | 2021-03-30 | 白秋云 |
| 45 | 一种碳化硅沉积的进气系统 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202020006752.X | 2020-01-02 | CN211713195U | 2020-10-20 | 白秋云 |
| 46 | 一种CVD碳化硅反应腔室真空度测量装置 | 实用新型 | 专利权的终止、授权 | CN202020029167.1 | 2020-01-02 | CN211717702U | 2020-10-20 | 白秋云 |
| 47 | 一种分流式CVD沉积室 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202020006486.0 | 2020-01-02 | CN211713196U | 2020-10-20 | 白秋云 |
| 48 | 一种CVD碳化硅进气系统 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202020014529.X | 2020-01-02 | CN211713197U | 2020-10-20 | 白秋云 |
| 49 | 一种CVD反应炉过滤装置 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权 | CN202020005366.9 | 2020-01-02 | CN211706224U | 2020-10-20 | 白秋云 |
| 50 | 一种耐腐蚀涂层及其制备方法 | 发明专利 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更、授权、实质审查的生效、公布 | CN201910386092.4 | 2019-05-09 | CN110158032B | 2021-09-28 | 白秋云 |
