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中科飞测取得面板检测方法相关专利，动态划区的面板检测可提升AOI检测准确度

新浪证券-红岸工作室

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11月15日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置”的专利，授权公告号CN117853699B，授权公告日为2026年11月13日。申请公布号为CN117853699A，申请号为CN202211196795.9，申请公布日期为2026年11月13日，申请日期为2022年9月30日，发明人陈鲁、王天民、张嵩，分类号G06V10/22、G06V10/44、G06V10/762、H04N23/67、H04N17/00、G06T7/00、G01N21/88。

专利摘要显示，本发明提供一种动态划定检测区域的面板检测方法，包括：通过高度测量探头获取面板表平面上的采样点的第一高度信息，所述面板表平面在所述图像检测传感器的检测视场范围内包含的采样点数量为多个；将所述采样点按照对应的所述第一高度信息聚类得到所述面板表平面上与高度分布相关的轮廓信息；根据所述轮廓信息和所述图像检测传感器的检测视场范围划定检测区域，所述检测区域根据所述高度分布各自对应有第二高度信息；通过所述图像检测传感器对所述检测区域拍照检测，且在所述拍照检测包括：根据该检测区域对应的第二高度信息移动所述图像检测传感器和/或调节所述图像检测传感器的拍摄焦距。上述动态划定检测区域的面板检测方法可提高AOI的准确度。

中科飞测是国内领先的集成电路检测量测设备核心供应商，依托自主可控技术壁垒实现多类核心产品国产化突破。公司成立于2014年12月31日，于2023年5月19日在上海证券交易所上市，注册地与办公地均位于广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体检测、半导体设备、HBM概念三大热门概念板块。

2026年三季度，中科飞测实现营业收入16.14亿元，在27家同行业可比公司中排名第11位，低于行业平均32.99亿元的营收水平，略高于13.34亿元的行业营收中位数，同期行业营收前两位分别为北方华创314.67亿元、中微公司103.26亿元；当期公司净利润为-9513.07万元，行业排名第26位，显著低于7.46亿元的行业净利润平均水平与1.85亿元的行业净利润中位数，同期行业净利润前两位分别为北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元。

指标类型 当期数值 行业排名/总家数 行业头部企业数值 行业平均数 行业中位数
营业收入 16.14亿元 11/27 北方华创314.67亿元、中微公司103.26亿元 32.99亿元 13.34亿元
净利润 -9513.07万元 26/27 北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元 7.46亿元 1.85亿元

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种用于缺陷检测的图像亚像素配准方法及装置发明专利发明专利申请公布、公布CN202611409813.52026-09-10CN123015631A2026-10-30杨雪芳、张鹏斌、陈明山、陈鲁
2一种多通道图像融合缺陷增强方法及相关产品发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611363975.X2026-09-03CN122905877A2026-10-13陈鲁、黄有为、张龙、李洪波
3散斑抑制装置、检测设备和检测方法发明专利发明专利申请公布、公布CN202611342069.12026-08-31CN123047060A2026-11-06王跃、莫云杰、吕肃、陈鲁
4一种缺陷检测装置及缺陷检测方法发明专利发明专利申请公布、公布CN202611328240.32026-08-28CN123087147A2026-11-13赵哲承、杨雪芳、黄有为、陈鲁
5一种切割道中心定位方法及相关装置发明专利发明专利申请公布、公布CN202611299915.62026-08-25CN123093783A2026-11-13林海新、张鹏斌、陈鲁
6半导体样品数据的处理方法、服务器以及管理系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611289956.72026-08-24CN123068740A2026-11-10张晓峰、杜德平、陈鲁
7一种半导体样品数据的处理方法、管理系统及服务器发明专利发明专利申请公布、公布CN202611292866.32026-08-24CN123068374A2026-11-10杜德平、田旷达、张嵩、陈鲁
8半导体样品数据的异步处理方法及管理系统、分布式集群发明专利发明专利申请公布、公布CN202611293229.82026-08-24CN123090014A2026-11-13杜德平、田旷达、陈鲁
9一种探针针痕的检测方法、装置及可读存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611256023.82026-08-18CN122906043A2026-10-13张鹏斌、林海新、陈鲁
10一种滤波装置及其使用方法、光学检测系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611257145.92026-08-18CN123008643A2026-10-30陈允睿、尹陈林、黄有为、陈鲁
11半导体样品缺陷检测方法及X射线显微成像系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611248768.X2026-08-17CN123066127A2026-11-10李炎、邹翔、朱文斌、马砚忠、陈鲁
12光学量测系统发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611193335.92026-08-06CN122982929A2026-10-27王南朔、杨长英、孙晶露、马砚忠、陈鲁
13一种卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202611179734.X2026-08-05CN122679879A2026-09-01张鹏斌、仇志远、王福旺、陈鲁
14对焦装置、晶圆缺陷检测系统及方法、存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202611176671.22026-08-04CN123066947A2026-11-10任颐杰、刘英见、赵康俊、张龙、陈鲁
15一种叠层晶圆中心偏移量测量方法及相关装置发明专利公布CN202611169872.X2026-08-03CN122729886A2026-09-11金争、代富贵、盛浩、陈鲁
16一种支撑组件及支撑装置发明专利发明专利申请公布、公布CN202611169819.X2026-08-03CN123047190A2026-11-06杨雪芳、黄有为、徐思华、陈鲁
17一种晶粒偏移检测方法及相关产品发明专利发明专利申请公布、公布CN202611159944.22026-07-31CN123022206A2026-10-30张鹏斌、黎广言、陈鲁、牛杰一
18有效测量区域的识别方法、识别装置及存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202611161733.22026-07-31CN123093537A2026-11-13袁明波、邓忠寒、马砚忠、陈鲁
19晶圆缺陷图像的合成方法及模型训练方法、缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611106059.82026-07-23CN122928643A2026-10-16肖安七、张嵩、陈鲁
20晶圆缺陷的检测方法、计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611107269.92026-07-23CN122962883A2026-10-23韩子轲、杨锦涛、陈鲁
21应用于半导体量测的显存管理方法及系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611090629.92026-07-21CN123048184A2026-11-06张鹏斌、王之飞、齐鑫、陈鲁
22一种晶圆凸点高度测量方法、系统及存储介质发明专利CN202611054688.02026-07-15CN122952920A2026-10-20顾玥、张鹏斌、陈鲁
23半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202611001185.72026-07-07CN122636675A2026-08-25齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁
24一种螺旋扫描坐标逆向映射方法及相关产品发明专利公布CN202610992454.42026-07-03CN122736931A2026-09-11陈鲁、黄有为、张龙、徐雨哲
25消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610977127.12026-07-01CN122632464A2026-08-25陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承
26一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610963067.82026-06-30CN122594625A2026-08-18荣楠、陈鲁、金炼
27模型构建方法及装置、形貌量测方法、存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610959379.12026-06-29CN122948757A2026-10-20温朗枫、马砚忠、张荣臻、陈鲁
28测量方法、测量装置及存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610954759.62026-06-29CN122965087A2026-10-23温朗枫、马砚忠、王才、陈鲁
29边界信息确定方法及装置、电磁场分析及形貌量测方法发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610958407.82026-06-29CN122990226A2026-10-27马砚忠、温朗枫、张荣臻、陈鲁
30面型计算系统和面型计算方法发明专利公布CN202610893239.92026-06-22CN122432442A2026-07-21郁健、马砚忠、余涛、陈鲁
31移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法发明专利授权CN202610870545.02026-06-16CN122384663B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁
32光纤的光场检测装置和光场检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610868530.02026-06-15CN122671126A2026-09-01路长庚、莫云杰、吕肃、陈鲁
33孔结构尺寸确定方法及X射线显微成像系统发明专利CN202610847309.72026-06-11CN122858324A2026-10-02李炎、马砚忠、陈鲁、李明涛
34误差确定方法、量测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610813139.02026-06-05CN122798712A2026-09-22刘欢敏、吕帅、吕肃、陈鲁
35焊柱高度测量方法、芯片倾角测量方法及焊柱高度测量系统发明专利公布CN202610787831.02026-06-02CN122544657A2026-08-11马砚忠、陈鲁、张越
36多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610788009.62026-06-02CN122641323A2026-08-25陈鲁、马砚忠、张越
37不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610748017.82026-05-27CN122612641A2026-08-21陈鲁、马砚忠、李鹰
38扫描电子显微镜发明专利实质审查的生效、公布CN202610702437.22026-05-20CN122638408A2026-08-25吕肃、陈鲁、朱春涛
39一种半导体厚度测量系统及其测量方法、存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610660291.X2026-05-14CN122982038A2026-10-27郁健、杨东、马砚忠、陈鲁
40一种标准片及掩膜版发明专利授权CN202610653251.22026-05-13CN122267035B2026-09-08吕肃、蒋路翔、陈鲁
41一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610653893.22026-05-12CN122492647A2026-07-31陈鲁、黄有为、杨坚
42一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利授权CN202610637168.62026-05-11CN122223079B2026-08-11张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁
43芯片角度调整方法、装置及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610612432.02026-05-06CN122497326A2026-07-31李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁
44测量方法、测量设备和计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610604745.12026-04-30CN122982071A2026-10-27袁明波、杨东、马砚忠、陈鲁
45几何参数标定方法、计算机层析成像方法和系统、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610551857.52026-04-23CN122573798A2026-08-14李炎、邹翔、马砚忠、陈鲁
46一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利授权CN202610541586.52026-04-23CN122120580B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁
47产品的检测方法、检测系统和服务器发明专利实质审查的生效、公布CN202610451627.12026-04-07CN122415314A2026-07-17陈明山、黄有为、陈鲁
48渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质发明专利公布CN202610449883.72026-04-07CN122435107A2026-07-21柯贤华、黄有为、陈鲁
49表面形貌测量方法发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610451466.62026-04-07CN122989520A2026-10-27马砚忠、杨东、陈鲁
50一种掩膜板检测程序创建方法及相关装置发明专利发明专利申请公布、公布CN202610451633.72026-04-07CN123010328A2026-10-30杨雪芳、陈雄钧、黄有为、陈鲁

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