数据显示，EUV前十大重仓股合计占基金资产的58.8202%。
其中，第一大重仓股为台积电，持仓占比13.2484%；第二大重仓股为阿斯麦，占比10.9574%；第三大重仓股为应用材料，占比6.0251%。
此外，前十大重仓股还包括林氏研究、科磊、康宁、Lumentum Holdings Inc. Common Stock When Issued、英特格、迈威尔科技和MACOM Technology Solutions Holdings, Inc. ORD。
从持仓分布来看，该ETF主要集中于科技，占比98.4000%，其次是非权益类资产，占比1.3700%。
