数据显示，11月5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购7.63亿元，位居当日股票ETF净流入排名11/1372。最新规模45.32亿元，前一日规模35.98亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为21.20%。
近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购7.33亿元，位居股票ETF净流入排名第33/1372。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购3.69亿元，位居股票ETF净流入排名第67/1372。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购6.52亿元，位居股票ETF净流入排名第67/1372。
鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止11月5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为52.36亿份，最新规模为45.32亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加2044.16%，规模增加1426.45%。
流动性方面，截止11月5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额145亿元，日均成交金额7.25亿元；今年以来，202个交易日，累计成交金额1025.87亿元，日均成交金额5.08亿元。
鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益73.08%。
最新定期报告显示，鹏华基金（589020）重仓股包括华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688120 | 华海清科 | 11.21% | 250.45万 | 5.70亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 10.64% | 154.91万 | 5.41亿 |
| 688012 | 中微公司 | 10.11% | 161.35万 | 5.14亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 9.40% | 74.67万 | 4.78亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.50% | 100.95万 | 3.30亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.48% | 88.11万 | 3.30亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 5.22% | 90.23万 | 2.66亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 4.80% | 1043.74万 | 2.44亿 |
| 688019 | 安集科技 | 4.75% | 114.37万 | 2.41亿 |
| 688409 | 富创精密 | 3.81% | 113.84万 | 1.94亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261105 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261105 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 391.81 | 56.01 | 42.74 | 55.62 | 70.56 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 95.94 | 12.87 | 16.81 | 20.56 | 14.98 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 45.32 | 7.19 | 7.63 | 7.33 | 6.30 | 鹏华基金 |
