数据显示，11月5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购16.81亿元，位居当日股票ETF净流入排名3/1372。最新规模95.94亿元，前一日规模75.59亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为22.24%。
近5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购20.56亿元，位居股票ETF净流入排名第21/1372。近10日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购10.43亿元，位居股票ETF净流入排名第37/1372。近20日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购15.92亿元，位居股票ETF净流入排名第38/1372。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)已连续3日资金获净申购，区间净流入额21.54亿元。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止11月5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）最新份额为130.51亿份，最新规模为95.94亿元。回顾2025年12月31日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）份额为5.7亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加2188.44%，规模增加982.52%。
流动性方面，截止11月5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）近20个交易日累计成交金额260.79亿元，日均成交金额13.04亿元；今年以来，202个交易日，累计成交金额1697.35亿元，日均成交金额8.4亿元。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益120.53%。
最新定期报告显示，华泰柏瑞基金（588710）重仓股包括华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、富创精密，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688120 | 华海清科 | 11.24% | 517.54万 | 11.77亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 10.67% | 320.06万 | 11.17亿 |
| 688012 | 中微公司 | 10.16% | 334.06万 | 10.64亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 9.43% | 154.72万 | 9.88亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.55% | 209.63万 | 6.86亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.49% | 181.86万 | 6.80亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 5.27% | 187.62万 | 5.52亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 4.83% | 2163.32万 | 5.06亿 |
| 688019 | 安集科技 | 4.75% | 235.94万 | 4.98亿 |
| 688409 | 富创精密 | 3.83% | 235.94万 | 4.01亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261105 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261105 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 391.81 | 56.01 | 42.74 | 55.62 | 70.56 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 95.94 | 12.87 | 16.81 | 20.56 | 14.98 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 45.32 | 7.19 | 7.63 | 7.33 | 6.30 | 鹏华基金 |
