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晶盛机电取得硅片磨削形貌相关专利，硅片磨削形貌预测补偿提生产精度效率一致性

新浪证券-红岸工作室

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11月4日消息，国家知识产权局信息显示，浙江晶盛机电股份有限公司申请一项名为“一种硅片磨削形貌预测与补偿方法、装置、设备和介质”的专利，授权公告号CN118003151B，授权公告日为2026年11月3日。申请公布号为CN118003151A，申请号为CN202311863559.2，申请公布日期为2026年11月3日，申请日期为2023年12月29日，发明人朱亮、李阳健、赵志鹏、刘婷，专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理有限公司，专利代理师李丽华，分类号B24B1/00、B24B7/22、B24B49/00、B24B49/02、B24B55/02、G06N3/084。

专利摘要显示，本申请涉及一种硅片磨削形貌预测与补偿方法、装置、设备和介质，其中，硅片磨削形貌预测与补偿方法包括：基于硅片在历史磨削过程中获取工艺参数与磨削结束后测量的硅片厚度、形貌参数，得到训练样本；基于神经网络对所述训练样本进行训练，得到硅片形貌预测模型；将硅片在磨削过程中获取的当前工艺参数输入至所述硅片形貌预测模型，获得硅片厚度、形貌参数预测值；基于所述硅片厚度、形貌参数预测值与符合工艺标准的硅片厚度、形貌参数设定值，对所述当前工艺参数进行调整，使所述硅片厚度、形貌参数预测值满足所述硅片厚度参数设定值。实现了对符合工艺标准的硅片厚度参数设定值参数的自动补偿，提高了硅片成品的生产效率、精度与一致性。

晶盛机电是全球领先的晶体硅生长设备龙头企业，深耕核心装备研发制造，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2006年12月14日，2012年5月11日于深圳证券交易所上市，注册地位于浙江省，办公地位于浙江省。

公司主营业务为晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售，申万行业分类隶属于电力设备-光伏设备-光伏加工设备，同时布局培育钻石、金刚石、单晶硅相关概念赛道。

2026年三季度，公司实现营业收入54.14亿元，在行业12家可比企业中位列第1，大幅领先第二名奥特维的42.5亿元，较行业平均27.64亿元、行业中位数28.69亿元均实现显著超额增长；同期实现净利润2.08亿元，在12家可比企业中排名第6，高于行业平均数1.67亿元与行业中位数1.84亿元，行业内净利润排名前两位的企业分别为捷佳伟创（6.33亿元）、奥特维（4.36亿元）。

指标类型 统计周期 公司数值 行业排名/总样本数 行业首位企业数值 行业次位企业数值 行业平均数 行业中位数
营业收入 2026年三季度 54.14亿元 1/12 54.14亿元 42.5亿元 27.64亿元 28.69亿元
净利润 2026年三季度 2.08亿元 6/12 6.33亿元 4.36亿元 1.67亿元 1.84亿元

浙江晶盛机电股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种缺陷检测装置、缺陷检测设备及晶圆缺陷检测方法发明专利公布CN202611207448.X2026-08-10CN122709476A2026-09-08刘华、吴霏霏、苏奥远、李贞周、武斌、傅林坚
2晶棒加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610953137.12026-06-29CN122584521A2026-08-18王金荣、朱亮、曹建伟、白庆豪、王晓锋、胡银纲
3晶片抛光参数的调整方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202610953655.32026-06-29CN122476891B2026-09-22刘华、赵翔宇、杨洁、李阳健、傅林坚
4硅芯炉及硅芯拉制方法发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610942619.72026-06-26CN122856361A2026-10-02周韬、段文昌、张廉政
5一种硅芯炉的生长控制方法、系统以及硅芯炉发明专利实质审查的生效、公布CN202610912969.92026-06-23CN122669484A2026-09-01周韬、段文昌、陈玲、温馨、福德、李大平
6一种蓝宝石晶体加工方法、装置、系统以及蓝宝石片发明专利公布CN202610911705.12026-06-23CN122703649A2026-09-08周锋、石刚、张军、康盆伟、何强
7一种硅芯生长控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610911692.82026-06-23CN122751329A2026-09-15周韬、段文昌、李磊、高龙龙、张海超、胡飞
8金刚线加工方法和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610911777.62026-06-23CN122787835A2026-09-22邱文杰、陈康、宋星星
9一种硅芯炉的生长方法和硅芯炉发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202610913038.02026-06-23CN122856362A2026-10-02周韬、段文昌、张海超、胡飞、高原、张廉政
10一种金刚线加工方法和装置发明专利CN202610912985.82026-06-23CN122876199A2026-10-09邱文杰、陈康、宋星星
11一种蓝宝石晶体加工方法及系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202610911798.82026-06-23CN122938967A2026-10-20石刚、周锋、张军、何强、王斐
12一种蓝宝石晶体加工方法发明专利发明专利申请公布、公布CN202610913021.52026-06-23CN122975469A2026-10-27周锋、石刚、张军、王斐
13硅芯提拉装置、硅芯炉、方法、设备及存储介质发明专利公布CN202610902270.42026-06-22CN122707235A2026-09-08周韬、段文昌、高原、张廉政、陈玲、温馨
14硅芯炉热场控制方法、装置、设备、存储介质及系统发明专利公布CN202610897241.32026-06-22CN122707234A2026-09-08周韬、段文昌、张小利、张振华、闫利军
15一种双面抛光机的旋转接头和双面抛光机发明专利实质审查的生效、公布CN202610874285.42026-06-16CN122606467A2026-08-21朱亮、欧阳鹏根、庞浩、李阳健、陈道光、骆万钞
16一种盘形控制方法、系统、双面抛光机以及存储介质发明专利公布CN202610869746.92026-06-16CN122723511A2026-09-11朱亮、欧阳鹏根、庞浩、李阳健、陈道光、骆万钞
17晶圆表面薄膜平坦度的检测方法、装置及电子设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202610866176.82026-06-16CN122442506B2026-09-22王悦、朱亮、邓耀敏、俞晨阳、朱宏钰、邓兆哲
18白光测厚装置、化学机械抛光系统及白光测厚方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202610867722.X2026-06-16CN122378578B2026-09-22王悦、朱亮、邓耀敏、俞晨阳、朱宏钰、张永龙
19蓝宝石长晶装置、长晶炉及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610864347.32026-06-15CN122522391A2026-08-07宋建军、石刚、王立军、冯当朝
20蓝宝石晶体生长装置、长晶炉及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610869486.52026-06-15CN122522392A2026-08-07宋建军、石刚、王立军、冯当朝
21晶体生长装置、长晶炉及方法发明专利公布CN202610864356.22026-06-15CN122727929A2026-09-11宋建军、冯当朝、王立军、石刚
22导向机构、采用该导向机构的裁切装置以及流延机发明专利实质审查的生效、公布CN202610685402.22026-05-18CN122482272A2026-07-31王金荣、曹建伟、朱亮、杨志泉、焦荣辉
23一种微孔加工方法、装置以及工件发明专利实质审查的生效、公布CN202610636550.52026-05-09CN122322967A2026-07-03王金荣、曹建伟、朱亮、傅林坚、樊叶萍、邓江山
24抛光系统及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610582606.32026-04-28CN122378565A2026-07-14朱亮、李阳健、郑猛、邓耀敏、黄金涛、穆炳宏
25抛光系统及抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610579412.82026-04-28CN122378585A2026-07-14朱亮、李阳健、郑猛、黄金涛、穆炳宏
26一种空气主轴监测预警方法、监测预警系统、计算机设备以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610479545.82026-04-13CN122223911A2026-06-16朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼、杨浪
27一种空气主轴、控制方法及减薄机发明专利实质审查的生效、公布CN202610480218.42026-04-13CN122274841A2026-06-26朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼
28一种线切机的监测方法和线切机发明专利实质审查的生效、公布CN202610483473.42026-04-13CN122323054A2026-07-03王金荣、朱亮、王家濠
29一种空气主轴监测方法、系统和空气主轴发明专利实质审查的生效、公布CN202610479527.X2026-04-13CN122545096A2026-08-11朱亮、谢龙辉、孙菁阳、王宁银、宋帅礼
30复合电主轴发明专利实质审查的生效、公布CN202610459892.42026-04-09CN122299521A2026-06-30王金荣、朱亮、曹建伟、林少健、钱勇明
31软模组件烘干装置发明专利公布CN202610433292.02026-04-02CN122467861A2026-07-28张杭军、徐伟强、冯徐鑫、郑权、张广犬、崔泰磊
32软模脱模装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610432737.32026-04-02CN122517608A2026-08-07张杭军、郑权、徐伟强、冯徐鑫、张广犬、崔泰磊
33工艺参数测算方法、切割系统、计算机及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610424775.42026-04-01CN122384674A2026-07-14王金荣、朱亮、侯天麒、赵翔宇、杨洁、刘华
34一种陶瓷基座面型预测方法、预测系统以及减薄设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610362295.X2026-03-24CN122365819A2026-07-10张俊、杨潮、王嘉梁、潘凌煜
35一种相机自动对焦方法、装置、电子设备以及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610357276.82026-03-20CN122372836A2026-07-10刘华、葛凯凯、沈华、傅林坚
36晶片脱胶清洗机发明专利实质审查的生效、公布CN202610233965.82026-02-27CN122252405A2026-06-23谢龙辉、王俊、刘彪、黄游、王凯、高子健
37单晶硅拉制工艺用超导磁体及工艺磁场的调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610091348.92026-01-22CN121983407A2026-05-05朱亮、张瀛、牛加振、张锋、吴志彬
38一种晶棒检测方法、装置和设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512036521.32025-12-30CN121702304A2026-03-20张杭军、曹震、朱肖营、王久洲、康新领、张广犬
39晶圆激光退火的控制方法、晶圆激光退火方法及相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202512042015.52025-12-30CN121985796A2026-05-05王悦、朱亮、金芊池、陈淑楠
40一种减薄方法和装置发明专利公布CN202512015532.32025-12-29CN121624664A2026-03-10王金荣、朱亮、曹建伟、喻捷基
41碳化硅晶锭粘接装置及方法发明专利公布CN202512016071.12025-12-29CN121653848A2026-03-13曹建伟、朱亮、王金荣、沈振宏、董凯
42一种石英坩埚缺陷检测设备发明专利公布CN202512037116.32025-12-29CN121678539A2026-03-17刘华、沈华、曾若琪、陈双、傅林坚
43一种陶瓷基板加工方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512023049.X2025-12-29CN121716170A2026-03-24王金荣、朱亮、杨志泉、金峰
44一种陶瓷基板加工的流延方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512015965.92025-12-29CN121733686A2026-03-27王金荣、朱亮、杨志泉
45一种陶瓷基板加工的脱泡方法、系统、设备及存储介质发明专利公布CN202512037177.X2025-12-29CN121819405A2026-04-10王金荣、朱亮、杨志泉
46晶片脱胶分片设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512016347.62025-12-29CN121865877A2026-04-14谢龙辉、王俊、刘彪、王凯、张江水、朱亮
47方形晶片的加工方法、系统及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512025823.02025-12-29CN121985773A2026-05-05朱亮、李阳健、赵志鹏、先泽文、郭星来
48基板缓存装置发明专利授权CN202511872475.42025-12-11CN121292125B2026-04-14张杭军、谢可馨、张广犬、苏毅、曹俊瑶
49金刚石生长装置发明专利公布CN202511804877.02025-12-02CN121675073A2026-03-17曹建伟、倪军夫、高宇、刘成波、董熔成、陈焕
50超导线性能检测设备及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511803974.82025-12-02CN122017695A2026-05-12朱亮、张瀛、侯一凡、牛加振、吴志彬

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