数据显示，11月3日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购5.92亿元，位居当日股票ETF净流入排名12/1371。最新规模274.35亿元，前一日规模285.94亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为2.07%。
近5日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回9.67亿元，位居股票ETF净流出排名第5/1371。近10日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)遭净赎回29.63亿元，位居股票ETF净流出排名第2/1371。近20日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购13.29亿元，位居股票ETF净流入排名第39/1371。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止11月3日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为472.11亿份，最新规模为274.35亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额增加1829.24%，规模增加646.05%。
流动性方面，截止11月3日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日累计成交金额978.51亿元，日均成交金额48.93亿元；今年以来，200个交易日，累计成交金额7017.52亿元，日均成交金额35.09亿元。
华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪、荣膺。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益74.33%；荣膺自2026年6月22日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-45.79%。
最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股包括华海清科、中科飞测、中微公司、拓荆科技、芯源微、华峰测控、盛美上海、沪硅产业、安集科技、中船特气，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688120 | 华海清科 | 11.10% | 2047.96万 | 46.58亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 10.76% | 1292.46万 | 45.12亿 |
| 688012 | 中微公司 | 10.19% | 1344.79万 | 42.75亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 9.57% | 627.01万 | 40.13亿 |
| 688037 | 芯源微 | 6.60% | 846.32万 | 27.70亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.56% | 739.40万 | 27.51亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 5.35% | 761.90万 | 22.42亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 4.85% | 8700.43万 | 20.34亿 |
| 688019 | 安集科技 | 4.82% | 958.35万 | 20.22亿 |
| 688146 | 中船特气 | 3.79% | 836.01万 | 15.89亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261103 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261103 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 274.35 | 49.26 | 5.92 | -9.67 | 15.78 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 61.40 | 11.14 | 1.03 | -3.45 | -5.53 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 30.48 | 6.48 | -0.29 | -1.83 | -1.67 | 鹏华基金 |
