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屹唐半导体北京屹唐半导体科技申请窗口装置相关专利，协同保障滤光介质层流，实现稳定光谱滤波

新浪证券-红岸工作室

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11月4日消息，国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司、屹唐半导体科技（北京）有限责任公司申请一项名为“窗口装置、半导体设备及半导体处理系统”的专利。申请公布号为CN123029652A，申请号为CN202611341151.2，申请公布日期为2026年11月3日，申请日期为2026年8月31日，发明人石岱、蒙小刚、曹红波、宋岭、薛俊辉，专利代理机构北京易光知识产权代理有限公司，专利代理师王英、金爱静，分类号G02B5/24、H10P72/00。

专利摘要显示，本公开提供一种一种窗口装置、半导体设备及半导体处理系统，总体涉及半导体制造技术领域。窗口装置包括承载基体、滤光组件和分流柱组。承载基体具有透光通道；承载基体设置有第一侧壁和第二侧壁；第一侧壁设置有介质引入端口；第二侧壁设置有介质引出端口；滤光组件设置于透光通道中；滤光组件内部具有层流式流道；分流柱组设置于层流式流道的入口侧与介质引入端口之间。本公开通过配置分流柱组与层流式流道相互配合，分流柱组在层流式流道的入口侧对滤光介质进行预分流和均化，层流式流道在内部为介质提供平稳的流动空间，二者协同作用使得滤光介质在整个流道范围内保持稳定的层流状态，进而对光束进行稳定的光谱滤波。

屹唐股份是国内半导体设备领域领先企业，主营干法去胶等核心设备，具备深厚技术壁垒与全产业链布局优势。公司成立于2015年12月30日，于2025年7月8日在上海证券交易所上市，注册及办公地点均位于北京市。

公司主营业务为集成电路制造环节所需晶圆加工设备的研发、生产与销售，面向全球集成电路制造厂商提供干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备及配套工艺解决方案，同时提供备品备件及相关服务。公司申万行业分类为电子-半导体-半导体设备，所属概念板块涵盖昨日高换手、次新股、沪股通。

2026年三季度，屹唐股份实现营业收入35.83亿元，在27家同行业可比公司中排名第8，高于行业32.99亿元的平均营收水平，大幅超出13.34亿元的行业中位数，同期行业内营收排名前两位的企业分别为北方华创（314.67亿元）、中微公司（103.26亿元）。当期公司实现净利润10.73亿元，位列27家同行业企业第6位，高于7.46亿元的行业平均净利润水平，显著高于1.85亿元的行业中位数，同期行业净利润前两位分别为北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元。

指标类型 2026年三季度数值 行业排名/总家数 行业头部企业对标 行业平均数 行业中位数
营业收入 35.83亿元 8/27 北方华创314.67亿元、中微公司103.26亿元 32.99亿元 13.34亿元
净利润 10.73亿元 6/27 北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元 7.46亿元 1.85亿元

北京屹唐半导体科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1窗口装置、半导体设备及半导体处理系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611341151.22026-08-31CN123029652A2026-11-03石岱、蒙小刚、曹红波、宋岭、薛俊辉
2半导体设备发明专利CN202611184424.72026-08-05CN122952900A2026-10-20么曼实、王春雷、刘飞、石岱、王子昂
3等离子体设备发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611132452.42026-07-28CN122934618A2026-10-16丁伟、管长乐、范强
4半导体设备的电极冷却装置发明专利CN202611132605.52026-07-28CN122991962A2026-10-27石岱、刘春峰、薛俊辉、曹红波、宋岭
5开关盖装置及半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202611097193.62026-07-22CN122751904A2026-09-15刘飞、李海卫、么曼实
6用于毫秒退火系统弧光灯的电极冷却结构及散热传导机构发明专利实质审查的生效、公布CN202611050583.82026-07-15CN122677369A2026-09-01石岱、曹红波、蒙小刚、薛俊辉、张垒
7阀门装置及半导体设备发明专利CN202611055069.32026-07-15CN122981401A2026-10-27李欣雨、张玉松、罗功林
8热处理腔室及热处理设备发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611047778.72026-07-14CN122934565A2026-10-16石岱、曹红波、薛俊辉、刘春峰、韩愈
9用于毫秒退火系统的氮气处理方法和装置发明专利CN202611039815.X2026-07-13CN122872034A2026-10-02石岱、曹红波、薛俊辉、张垒、马涛
10半导体设备及其组装方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610967280.62026-06-30CN122783944A2026-09-18么曼实、王春雷、李梦涛、李欣雨、郭梦尧
11半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610945292.92026-06-26CN122648910A2026-08-28么曼实、李海卫、王春雷、罗功林、李欣雨
12对中机构及对中工装发明专利实质审查的生效、公布CN202610931737.82026-06-25CN122800525A2026-09-22石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
13等离子体源腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610710787.32026-05-22CN122513913A2026-08-04刘建生、陈保存、范强、张龙晓、卢振新、郭号、管长乐、黄印强
14等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610693347.12026-05-19CN122373231A2026-07-10王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、赵俊召、刘嘉熙、刘连俊、李运华
15薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610636695.52026-05-09CN122303852A2026-06-30龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
16半导体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610628464.X2026-05-08CN122535211A2026-08-07韩愈、刘春峰、张垒、许雯博
17等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610620563.32026-05-07CN122248625A2026-06-19王春雷、范强、肖莉莉、么曼实、段晓斌、刘建生、吕建建、李旭
18气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备发明专利公布CN202610611860.12026-05-06CN122487294A2026-07-31曹红波、韩愈、刘春峰、石岱、赵聪
19半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610612736.72026-05-06CN122494532A2026-07-31周博伦、赵俊召、陈显望、范强、管长乐、宋永明、陈帅
20等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610604356.92026-04-30CN122248624A2026-06-19王春雷、管长乐、赵俊召、宋永明、罗功林、赵忠生、后健华、于小翠
21半导体设备晶圆转速信号的融合方法及装置发明专利公布CN202610606506.X2026-04-30CN122451795A2026-07-24甄玉旺
22匀流装置及半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610589030.32026-04-29CN122421702A2026-07-17周博伦、管长乐、后健华、宋永明、陈帅、卢振新
23等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610578497.82026-04-28CN122373230A2026-07-10王春雷、范强、刘学良、么曼实、刘连俊、刘薇
24等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610560646.82026-04-24CN122370265A2026-07-10王春雷、管长乐、范强、刘学良、赵俊召、么曼实、兰梦、刘薇
25工艺腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610554160.32026-04-24CN122393187A2026-07-14么曼实、王春雷、李海卫、罗功林、李梦涛
26液冷装置及等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610550214.92026-04-23CN122417751A2026-07-17丁伟、管长乐、范强
27弧光灯及退火设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610527982.22026-04-20CN122393192A2026-07-14石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
28高通量传输平台及晶圆传输方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610528006.92026-04-20CN122396262A2026-07-14么曼实、罗功林、李海卫、王春雷、李梦涛
29传输平台及晶圆传输方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610528029.X2026-04-20CN122396263A2026-07-14么曼实、罗功林、李海卫、王春雷、李梦涛
30晶圆传输装置及晶圆洁净方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610517731.62026-04-17CN122161366A2026-06-05李海卫、么曼实、罗功林
31微波退火设备及半导体工件承载装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610499493.02026-04-15CN122161351A2026-06-05龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
32门阀装置及快速热处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610500234.52026-04-15CN122359546A2026-07-10曹红波、石岱、卢芳芳、薛俊辉、王英杰
33半导体工艺设备及其盖板发明专利实质审查的生效、公布CN202610484821.X2026-04-13CN122370264A2026-07-10王春雷、卫福强、孙卓、刘韬、熊华涛、周雨诺、姜伟鹏
34用于等离子体源的上进气盖板及等离子体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610457786.22026-04-08CN122337975A2026-07-03丁伟、管长乐、范强
35半导体工件冷却装置、半导体工件处理装置及其方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610249634.32026-03-02CN122121593A2026-05-29张玉松、李欣雨、李梦涛、罗功林
36快速热处理腔室及灯板装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610105975.32026-01-26CN121925069A2026-04-24石岱、张垒、刘春峰、庞云玲、郭梦尧
37热光学双功能涂层、半导体工件处理装置和温度控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610105964.52026-01-26CN121931495A2026-04-28薛俊辉、石岱、周星、桂远远、李福洪
38等离子体处理装置及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610090786.32026-01-22CN121885501A2026-04-17王春雷、范强、赵忠生、刘嘉熙、么曼实、张新云
39晶圆热处理的温度控制方法、毫秒级退火处理系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610090782.52026-01-22CN121888901A2026-04-17石岱、金鑫明、刘春峰、曹红波、薛俊辉
40等离子体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511720150.42025-11-21CN121463315A2026-02-03王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、李海卫、赵俊召
41用于处理工件的方法、等离子体设备及半导体工件发明专利实质审查的生效、公布CN202511676884.72025-11-14CN121472815A2026-02-06王春雷、刘嘉熙、管长乐、范强、么曼实、刘学良、赵俊召
42开合装置及开合系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510897667.42025-06-30CN120727621A2025-09-30曹红波、刘鹏、马涛、卢芳芳
43半导体工件处理设备和减少处理设备内颗粒物的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510848950.82025-06-23CN120690656A2025-09-23薛俊辉、高福宝、管长乐、蒋晓纬、熊华涛
44工件处理用装载锁定室发明专利公布CN202510731864.92025-06-03CN121096913A2025-12-09哈里·安巴、K·巴雷特、A·维尔
45拆卸工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510542786.82025-04-27CN120134259A2025-06-13蒙小刚
46半导体工件的传输设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510390488.12025-03-31CN120221480A2025-06-27李海卫、么曼实、薛俊辉、刘飞、吕建建
47用于拆卸ESC组件的工装发明专利实质审查的生效、公布CN202510388074.52025-03-28CN120002571A2025-05-16卢振新、管长乐、张新云、陈保存、陈帅
48喷涂工装发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510344775.92025-03-21CN120094774A2025-06-06石岱、薛俊辉、陈允慧、么曼实、兰梦
49等离子体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202580012516.42025-03-17CN122663686A2026-08-28郑建平、S·科杜穆里、詹祥谭、S·V·R·科米塞蒂、M·V·阿贝马、L·戈法特、沈达睿
50组装工装及组装工装系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510307484.22025-03-14CN119952649B2025-09-30韩愈、刘春峰

天眼查数据显示，屹唐半导体科技（北京）有限责任公司成立日期2024年11月7日，法定代表人王斌，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本50000万人民币，实缴资本100万人民币，注册地址为北京市北京经济技术开发区融兴北二街5号院7号楼8层801-2。屹唐半导体科技（北京）有限责任公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目0次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息37条，拥有行政许可1个。

屹唐半导体科技（北京）有限责任公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1窗口装置、半导体设备及半导体处理系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611341151.22026-08-31CN123029652A2026-11-03石岱、蒙小刚、曹红波、宋岭、薛俊辉
2半导体设备发明专利CN202611184424.72026-08-05CN122952900A2026-10-20么曼实、王春雷、刘飞、石岱、王子昂
3等离子体设备发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611132452.42026-07-28CN122934618A2026-10-16丁伟、管长乐、范强
4半导体设备的电极冷却装置发明专利CN202611132605.52026-07-28CN122991962A2026-10-27石岱、刘春峰、薛俊辉、曹红波、宋岭
5开关盖装置及半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202611097193.62026-07-22CN122751904A2026-09-15刘飞、李海卫、么曼实
6用于毫秒退火系统弧光灯的电极冷却结构及散热传导机构发明专利实质审查的生效、公布CN202611050583.82026-07-15CN122677369A2026-09-01石岱、曹红波、蒙小刚、薛俊辉、张垒
7阀门装置及半导体设备发明专利CN202611055069.32026-07-15CN122981401A2026-10-27李欣雨、张玉松、罗功林
8热处理腔室及热处理设备发明专利实质审查的生效、发明专利申请公布、公布CN202611047778.72026-07-14CN122934565A2026-10-16石岱、曹红波、薛俊辉、刘春峰、韩愈
9用于毫秒退火系统的氮气处理方法和装置发明专利CN202611039815.X2026-07-13CN122872034A2026-10-02石岱、曹红波、薛俊辉、张垒、马涛
10半导体设备及其组装方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610967280.62026-06-30CN122783944A2026-09-18么曼实、王春雷、李梦涛、李欣雨、郭梦尧
11半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610945292.92026-06-26CN122648910A2026-08-28么曼实、李海卫、王春雷、罗功林、李欣雨
12对中机构及对中工装发明专利实质审查的生效、公布CN202610931737.82026-06-25CN122800525A2026-09-22石岱、曹红波、薛俊辉、韩永富、刘鹏
13等离子体源腔室发明专利实质审查的生效、公布CN202610710787.32026-05-22CN122513913A2026-08-04刘建生、陈保存、范强、张龙晓、卢振新、郭号、管长乐、黄印强
14等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610693347.12026-05-19CN122373231A2026-07-10王春雷、管长乐、么曼实、刘学良、赵俊召、刘嘉熙、刘连俊、李运华
15薄膜沉积装置及薄膜沉积方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610636695.52026-05-09CN122303852A2026-06-30龙小宝、刘春峰、韩永富、刘鹏、王子昂
16半导体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610628464.X2026-05-08CN122535211A2026-08-07韩愈、刘春峰、张垒、许雯博
17等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610620563.32026-05-07CN122248625A2026-06-19王春雷、范强、肖莉莉、么曼实、段晓斌、刘建生、吕建建、李旭
18气体浓度测量装置、方法及快速热处理设备发明专利公布CN202610611860.12026-05-06CN122487294A2026-07-31曹红波、韩愈、刘春峰、石岱、赵聪
19半导体设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610612736.72026-05-06CN122494532A2026-07-31周博伦、赵俊召、陈显望、范强、管长乐、宋永明、陈帅
20等离子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610604356.92026-04-30CN122248624A2026-06-19王春雷、管长乐、赵俊召、宋永明、罗功林、赵忠生、后健华、于小翠

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