晶升装备晶升半导体取得减薄机磨头工装相关专利,该工装可精准定位晶圆中心避免减薄不均
新浪证券-红岸工作室
11月4日消息,国家知识产权局信息显示,南京晶升装备股份有限公司、南京晶升半导体科技有限公司申请一项名为“一种减薄机磨头定位工装”的专利,授权公告号CN224927687U,授权公告日为2026年11月3日。申请号为CN202522241819.3,申请公布日期为2026年11月3日,申请日期为2025年10月23日,发明人唐俊、李辉、罗汉昌,专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙),专利代理师吴多多,分类号B24B37/11、B24B37/34。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种减薄机磨头定位工装,包括磨头定位环、定位针、限位架、CT定位盘,所述定位针可拆卸地安装于磨头定位环上,限位架也安装于磨头定位环上,限位架上开有开孔,定位针从该开孔穿出,定位针、开孔中心所在圆周直径与磨头外径对应;所述CT定位盘圆心位置开有定位孔,当CT定位盘安装于减薄机上时,CT定位盘与CT盘圆心重合。本实用新型通过磨头定位环、定位针、限位架、CT定位盘的配合,将磨头与晶圆中心的位置误差降低至0.1‑0.2mm,实现精准定位晶圆中心,避免加工时晶圆减薄不均匀。
晶升股份是国内领先的半导体晶体生长设备核心供应商,深耕长晶设备领域具备深厚技术壁垒。公司成立于2012年2月9日,于2023年4月24日登陆上海证券交易所,注册及办公所在地均为江苏省。
晶升股份主营业务为晶体生长设备的研发、生产和销售,从申万行业分类来看隶属于电子-半导体-半导体设备赛道,同时归属于小盘均衡、小盘、半导体设备相关概念板块。
2026年三季度,晶升股份实现营业收入1.18亿元,在27家同行业可比公司中排名第27位,当期行业营收第一名北方华创达314.67亿元、第二名中微公司达103.26亿元,行业营收平均数为32.99亿元、中位数为13.34亿元;同期公司净利润为-1768.26万元,行业排名第24位,当期行业净利润第一名北方华创达51.94亿元、第二名中微公司达40.78亿元,行业净利润平均数为7.46亿元、中位数为1.85亿元。
| 指标类型 | 当期数值 | 行业排名/总家数 | 行业头部企业数值 | 行业平均数 | 行业中位数 |
|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 1.18亿元 | 27/27 | 北方华创314.67亿元、中微公司103.26亿元 | 32.99亿元 | 13.34亿元 |
| 净利润 | -1768.26万元 | 24/27 | 北方华创51.94亿元、中微公司40.78亿元 | 7.46亿元 | 1.85亿元 |
南京晶升装备股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种减薄机晶圆载盘角度调节装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610355706.2 | 2026-03-23 | CN122008075A | 2026-05-12 | 唐俊、李辉、张小潞、罗汉昌 |
| 2 | 一种减薄机晶圆清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610355703.9 | 2026-03-23 | CN122349330A | 2026-07-07 | 唐俊、李辉、张小潞、罗汉昌 |
| 3 | 一种称重系统真实数据的确定方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512043615.3 | 2025-12-31 | CN121954178A | 2026-05-01 | 毛瑞川、李辉、王守琛 |
| 4 | 一种具备中心测温及称重功能的籽晶驱动机构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512007317.9 | 2025-12-29 | CN121896728A | 2026-04-21 | 毛瑞川、李辉、张培、王守琛 |
| 5 | 一种碳化硅外延片及生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511993923.6 | 2025-12-26 | CN121896727A | 2026-04-21 | 李辉、毛瑞川、孙国峰、蔡许 |
| 6 | 一种外延设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511928700.1 | 2025-12-19 | CN121896718A | 2026-04-21 | 毛瑞川、李辉、蔡许、孙国峰 |
| 7 | 一种反应腔室的进气结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511928701.6 | 2025-12-19 | CN121896719A | 2026-04-21 | 毛瑞川、李辉、蔡许、杨茜 |
| 8 | 一种晶圆掺杂浓度的控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511823502.9 | 2025-12-05 | CN121737835A | 2026-03-27 | 毛瑞川、李辉、徐鑫、丁柏松 |
| 9 | 一种碳化硅外延反应腔 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511816775.0 | 2025-12-04 | CN121737832A | 2026-03-27 | 毛瑞川、李辉、汪能超、丁柏松 |
| 10 | 一种减薄机取放晶圆机械手定位工装 | 实用新型 | 实用新型专利权授予、授权 | CN202522241816.X | 2025-10-23 | CN224847269U | 2026-10-13 | 唐俊、李辉、罗汉昌 |
| 11 | 一种减薄机磨头定位工装 | 实用新型 | 实用新型专利权授予、授权 | CN202522241819.3 | 2025-10-23 | CN224927687U | 2026-11-03 | 唐俊、李辉、罗汉昌 |
| 12 | 一种避免低熔点杂质影响的碳化硅单晶生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510225036.8 | 2025-02-27 | CN120041936A | 2025-05-27 | 秦英谡、穆童、张熠 |
| 13 | 一种碳化硅涂层炉组合式进气装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423292421.4 | 2024-12-31 | CN223793238U | 2026-01-13 | 毛瑞川、赵国慧、李辉、王守琛、章国盛、蔡许 |
| 14 | 一种断线检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423302510.2 | 2024-12-31 | CN223955494U | 2026-02-27 | 兰梦洋、罗汉昌、姜宏伟 |
| 15 | 一种防停止抖动的旋转机构 | 实用新型 | 授权 | CN202423268950.0 | 2024-12-30 | CN223754594U | 2026-01-02 | 苏闻峰、毛瑞川、李辉、王守琛 |
| 16 | 一种CVD设备副产物收集装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423268945.X | 2024-12-30 | CN223874725U | 2026-02-06 | 毛瑞川、章国盛、蔡许、王守琛、李辉 |
| 17 | 一种通过改变线圈匝间距控制温梯的热场及加热长晶设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411947216.9 | 2024-12-27 | CN119729927A | 2025-03-28 | 毛瑞川、蔡许、李辉、潘清跃 |
| 18 | 一种通过改变线圈气隙控制温梯的热场及加热长晶设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411947223.9 | 2024-12-27 | CN119743861A | 2025-04-01 | 毛瑞川、蔡许、李辉、潘清跃 |
| 19 | 一种托盘旋转角度识别方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411947212.0 | 2024-12-27 | CN119863519A | 2025-04-22 | 毛洪英、毛瑞川、史云鹏、苏闻峰、李辉 |
| 20 | 一种具有电磁屏蔽功能的罩壳及加热设备 | 实用新型 | 授权 | CN202423231370.4 | 2024-12-26 | CN223793276U | 2026-01-13 | 李辉、柯俊、毛瑞川 |
| 21 | 一种碳化硅外延炉 | 实用新型 | 授权 | CN202423231382.7 | 2024-12-26 | CN223793274U | 2026-01-13 | 毛瑞川、丁柏松、李辉、潘清跃 |
| 22 | 一种管道切割装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423231416.2 | 2024-12-26 | CN223789642U | 2026-01-13 | 汪能超、丁柏松、毛瑞川、李辉 |
| 23 | 一种用于出轴安装的自适应球面结构 | 实用新型 | 授权 | CN202423231361.5 | 2024-12-26 | CN223793275U | 2026-01-13 | 王守琛、毛瑞川、李辉 |
| 24 | 一种热场上料装置 | 实用新型 | 授权 | CN202423231353.0 | 2024-12-26 | CN223792862U | 2026-01-13 | 张俊、王守琛、毛瑞川、李辉 |
| 25 | 一种具有缓冲保护的自动开盖炉 | 实用新型 | 授权 | CN202422874623.3 | 2024-11-25 | CN223535298U | 2025-11-11 | 毛瑞川、张培、李辉 |
| 26 | 一种碳化硅外延生长设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410816129.3 | 2024-06-24 | CN118639325A | 2024-09-13 | 毛瑞川、李辉、丁柏松、陆友峰、孙国峰 |
| 27 | 一种适用于碳化硅单晶炉的大直径线圈安装机构 | 实用新型 | 授权 | CN202420458250.9 | 2024-03-11 | CN221895193U | 2024-10-25 | 李辉、赵国慧、王守琛、毛瑞川、张培 |
| 28 | 一种用于MOCVD设备的手套箱 | 实用新型 | 授权 | CN202420458252.8 | 2024-03-11 | CN221912058U | 2024-10-29 | 李辉、丁柏松、朱俊、毛瑞川 |
| 29 | 一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置 | 实用新型 | 授权 | CN202420458248.1 | 2024-03-11 | CN222111287U | 2024-12-06 | 李辉、毛瑞川、丁柏松、汪能超 |
| 30 | 一种用于碳化硅长晶炉的旋转轴及长晶炉用坩埚驱动转动装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410027172.1 | 2024-01-08 | CN117888206A | 2024-04-16 | 李辉、毛瑞川、张俊、张培、陆友峰 |
| 31 | 一种CVD设备副产物收集装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410017893.4 | 2024-01-05 | CN117899640A | 2024-04-19 | 李辉、章国盛、毛瑞川、蔡许 |
| 32 | 一种尺寸及温梯可调的锑化镓长晶热场 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311834526.5 | 2023-12-28 | CN117646280A | 2024-03-05 | 李辉、陈彪、毛瑞川、陆友峰、杨茜 |
| 33 | 一种减少寄生沉积及提高氨气均匀性的HVPE设备腔室 | 发明专利 | 授权 | CN202311834530.1 | 2023-12-28 | CN117646192B | 2026-03-03 | 李辉、柯俊、毛瑞川、陆友峰 |
| 34 | 一种SiC液相长晶炉液位的检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311769377.9 | 2023-12-21 | CN117889934A | 2024-04-16 | 李辉、王守琛、毛瑞川 |
| 35 | 一种可伸缩式电极结构 | 实用新型 | 授权 | CN202323497244.9 | 2023-12-21 | CN221484226U | 2024-08-06 | 李辉、苏闻峰、王守琛 |
| 36 | 一种坩埚吊装工装 | 实用新型 | 授权 | CN202323497152.0 | 2023-12-21 | CN221607550U | 2024-08-27 | 李辉、杨茜 |
| 37 | 一种碳化硅长晶炉及其热场拆装方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211729060.8 | 2022-12-30 | CN116024666A | 2023-04-28 | 李辉、毛瑞川、丁柏松、陆友峰、张培 |
| 38 | 晶体旋转称重系统以及晶体生长炉系统 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202211690384.5 | 2022-12-28 | CN115976635B | 2026-10-09 | 李辉、张培、丁柏松、毛瑞川 |
| 39 | 一种爪式坩埚安装装置 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202211690396.8 | 2022-12-28 | CN116254607B | 2026-10-16 | 李辉、毛瑞川、杨茜、丁柏松、汪能超 |
| 40 | 一种具有挥发物沉淀路径的单晶炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211661971.1 | 2022-12-23 | CN116121854A | 2023-05-16 | 毛瑞川、杨茜、李辉 |
| 41 | 一种可提高碳化硅传质效率的热场结构 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202211661869.1 | 2022-12-23 | CN116240631A | 2023-06-09 | 李辉、毛瑞川、陈彪、章国胜、王守琛 |
| 42 | 一种电阻加热石墨电极设计方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202211661992.3 | 2022-12-23 | CN116244770B | 2025-09-02 | 毛瑞川、陈彪、丁柏松、王守琛、杨茜 |
| 43 | 一种碳化硅长晶热场及控制方法 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202211661993.8 | 2022-12-23 | CN116005247B | 2026-10-13 | 李辉、王守琛、毛瑞川 |
| 44 | 一种碳化硅晶体生长的坩埚内可视化装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202210748691.8 | 2022-06-29 | CN115094512A | 2022-09-23 | 毛瑞川、苏闻峰、丁柏松、汪能超 |
| 45 | 一种可变螺距的柔性感应加热系统及单晶炉 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210063831.8 | 2022-01-20 | CN114411237B | 2023-11-28 | 李辉、张培、丁柏松 |
| 46 | 一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210063968.3 | 2022-01-20 | CN114411264B | 2024-02-20 | 李辉、毛瑞川、毛洪英、丁柏松、苏闻峰 |
| 47 | 一种长晶炉热能再利用的管道系统 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202210040858.5 | 2022-01-14 | CN114411263A | 2022-04-29 | 李辉、杨茜、王守琛、苏闻峰 |
| 48 | 一种液相法碳化硅长晶时晶体质量的测量系统及方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210034866.9 | 2022-01-13 | CN114414632B | 2025-03-07 | 李辉、苏闻峰、毛瑞川、王守琛 |
| 49 | 一种变阻值的石墨电极组件 | 实用新型 | 授权 | CN202220058746.8 | 2022-01-11 | CN216891330U | 2022-07-05 | 李辉、丁柏松、毛瑞川 |
| 50 | 一种碳化硅长晶的加热装置 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202111672628.2 | 2021-12-31 | CN114411256B | 2023-11-10 | 李辉、王守琛、毛瑞川 |
天眼查数据显示,南京晶升半导体科技有限公司成立日期2022年1月18日,法定代表人李辉,所属行业为专用设备制造业,企业规模为大型,注册资本25255万人民币,实缴资本500万人民币,注册地址为南京经济技术开发区智芯路4号红枫科技园B3栋西侧。南京晶升半导体科技有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息3条,拥有行政许可3个。
南京晶升半导体科技有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种晶圆掺杂浓度的控制装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511823502.9 | 2025-12-05 | CN121737835A | 2026-03-27 | 毛瑞川、李辉、徐鑫、丁柏松 |
| 2 | 一种减薄机取放晶圆机械手定位工装 | 实用新型 | 实用新型专利权授予、授权 | CN202522241816.X | 2025-10-23 | CN224847269U | 2026-10-13 | 唐俊、李辉、罗汉昌 |
| 3 | 一种减薄机磨头定位工装 | 实用新型 | 实用新型专利权授予、授权 | CN202522241819.3 | 2025-10-23 | CN224927687U | 2026-11-03 | 唐俊、李辉、罗汉昌 |