欧莱新材欧莱溅射靶材取得复合铜箔相关专利,改善复合铜箔电性能,延寿且减电镀液污染
新浪证券-红岸工作室
11月4日消息,国家知识产权局信息显示,广东欧莱高新材料股份有限公司、东莞市欧莱溅射靶材有限公司申请一项名为“一种复合铜箔及其制备方法和应用”的专利,授权公告号CN117702114B,授权公告日为2026年11月3日。申请公布号为CN117702114A,申请号为CN202311469243.5,申请公布日期为2026年11月3日,申请日期为2023年11月6日,发明人文宏福、卢宽宽、李天柱、汪永熙、吴旭明、闻玉凤,专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司,专利代理师齐键,分类号C23C28/02、C23C14/35、C23C14/20、C25D3/38、C22C27/04、H01M4/66、H01M10/052、H01M10/0525。
专利摘要显示,本发明属于电池材料技术领域,特别涉及一种复合铜箔及其制备方法和应用。一种复合铜箔,包括基膜,依次设置在基膜上表面的金属修饰层、第一铜层、第二铜层;依次设置在基膜下表面的金属修饰层、第一铜层、第二铜层;金属修饰层为非晶薄膜层。本发明采用非晶薄膜作为金属修饰层,其和第一铜层、第二铜层结合,可降低复合铜箔的方块电阻,具有良好的电学性能;并且基膜和第一铜层,第一铜层和非晶薄膜层之间均具有良好的界面结合能,可延长复合铜箔的使用寿命;此外,因不含NiCr多晶合金层,可减少镍对电镀液的污染,提高第二铜层的生长质量,进而提高复合铜箔的电学性能。
欧莱新材是国内高性能溅射靶材领域领先企业,依托核心技术壁垒深耕半导体材料赛道,具备突出的产业稀缺性与投资价值。公司成立于2010年5月11日,于2024年5月9日登陆上海证券交易所,注册及办公所在地均为广东省韶关市。
欧莱新材主营业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售,从申万行业分类来看归属于电子-半导体-半导体材料赛道,同时覆盖核聚变、碳基半导体、年度强势三大概念板块。
2026年三季度,欧莱新材实现营业收入7.43亿元,在行业30家可比企业中排名第21位,当期行业营收第一名有研新材达84.62亿元,第二名雅克科技为67.21亿元,行业平均营收17.95亿元,行业中位数为9.67亿元;同期公司实现净利润9195.51万元,在行业30家可比企业中排名第15位,当期行业净利润第一名雅克科技达9.34亿元,第二名江丰电子为7.09亿元,行业平均净利润1.44亿元,行业中位数为8828.74万元。
| 指标类型 | 当期数值 | 行业排名/总家数 | 行业头部企业表现 | 行业平均水平 | 行业中位数水平 |
|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 7.43亿元 | 21/30 | 第一名有研新材84.62亿元、第二名雅克科技67.21亿元 | 17.95亿元 | 9.67亿元 |
| 净利润 | 9195.51万元 | 15/30 | 第一名雅克科技9.34亿元、第二名江丰电子7.09亿元 | 1.44亿元 | 8828.74万元 |
广东欧莱高新材料股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种用于12英寸晶圆的超高纯铜靶材的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、发明专利申请公布、公布 | CN202611226243.6 | 2026-08-13 | CN122918475A | 2026-10-16 | 文宏福、郭力山、许瑞、李天柱 |
| 2 | 一种铟镓废靶的干法回收方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512020562.3 | 2025-12-30 | CN121874474A | 2026-04-17 | 文宏福、巫北养 |
| 3 | 一种靶材扩散焊接强度测试样 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512003035.1 | 2025-12-29 | CN121577415A | 2026-02-27 | 文宏福、李扬、夏刘杰、许瑞、杨齐嘉、洪辉、杭海军、黄旭东 |
| 4 | 一种回收IGO靶材废料中的铟镓的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512005484.X | 2025-12-29 | CN121778774A | 2026-04-03 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 5 | 一种回收靶材的铜背板表面镀铟的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202512003458.3 | 2025-12-29 | CN121781226A | 2026-04-03 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 6 | 一种熔点差异大固溶度低的短流程高纯合金的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511692692.5 | 2025-11-18 | CN121538488A | 2026-02-17 | 文宏福、李培林、张中美、朱书文、杜全辉 |
| 7 | 一种高强高耐蚀的铒微合金化铜镍合金、制备方法及应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510775545.8 | 2025-06-11 | CN120555823A | 2025-08-29 | 张嘉艺、文宏福、张中美、余学德 |
| 8 | 一种在线精准测温的靶材热处理炉 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202510707725.2 | 2025-05-29 | CN120311002A | 2025-07-15 | 文宏福、黄旭东、张中美、张嘉艺、余学德 |
| 9 | 一种在线精准测温的靶材热处理炉 | 实用新型 | 授权 | CN202521083644.1 | 2025-05-29 | CN224186207U | 2026-05-01 | 文宏福、黄旭东、张中美、张嘉艺、余学德 |
| 10 | 一种大尺寸的钼钛合金旋转靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411929912.7 | 2024-12-26 | CN119733824B | 2025-10-03 | 文宏福、李培林 |
| 11 | 一种用于制造晶硅异质结电池的栅线电极的掩膜版 | 实用新型 | 授权 | CN202423052718.3 | 2024-12-11 | CN223646612U | 2025-12-09 | 文宏福、李天柱、卢宽宽 |
| 12 | 一种具有良好耐电镀液腐蚀性能的TCO薄膜的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411622643.X | 2024-11-14 | CN119465033A | 2025-02-18 | 文宏福、李天柱、卢宽宽、李鹏、吴旭明 |
| 13 | 一种使用低铟含量靶材制备透明导电氧化物薄膜的方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202411622636.X | 2024-11-14 | CN119465032A | 2025-02-18 | 李天柱、文宏福、卢宽宽、李鹏、吴旭明 |
| 14 | 一种HJT光伏电池电镀铜电极种子层的制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411622641.0 | 2024-11-14 | CN119530714A | 2025-02-28 | 文宏福、李天柱、卢宽宽、吴旭明 |
| 15 | 一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202411622639.3 | 2024-11-14 | CN119553227B | 2025-09-09 | 李天柱、文宏福、卢宽宽、李鹏、吴旭明 |
| 16 | 一种半导体金属轧制靶材的整形方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411273911.1 | 2024-09-12 | CN119281861A | 2025-01-10 | 文宏福、李培林、黄旭东、程朝霞 |
| 17 | 一种低熔点靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权 | CN202411273960.5 | 2024-09-12 | CN119260309B | 2026-09-01 | 文宏福、黄旭东、左志强、李天柱 |
| 18 | 一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料的生产方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410670232.1 | 2024-05-28 | CN118600263A | 2024-09-06 | 文宏福、李培林 |
| 19 | 一种高纯度高熵铝合金溅射镀膜材料 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202410670269.4 | 2024-05-28 | CN118600282B | 2025-09-09 | 文宏福、李培林 |
| 20 | 一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410636250.8 | 2024-05-22 | CN118515477A | 2024-08-20 | 文宏福、李鹏、蔡正明 |
| 21 | 一种改进加热控制电路的靶材熔炼装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323586985.4 | 2023-12-27 | CN222139244U | 2024-12-10 | 李兵 |
| 22 | 一种改进端盖篦板的振动磨机 | 实用新型 | 授权 | CN202323489774.9 | 2023-12-21 | CN221472033U | 2024-08-06 | 李天柱 |
| 23 | 一种自动清理积瘤的靶材喷涂机喷枪 | 实用新型 | 授权 | CN202323489741.4 | 2023-12-21 | CN222226557U | 2024-12-24 | 李兵 |
| 24 | 一种用于复合铜箔的界面修饰层薄膜及其制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311712161.9 | 2023-12-13 | CN117691120A | 2024-03-12 | 文宏福、李天柱、卢宽宽、李培林、吴旭明 |
| 25 | 一种旋转靶材的内径校直方法 | 发明专利 | 授权 | CN202311700299.7 | 2023-12-12 | CN117732922B | 2026-02-10 | 伍温良 |
| 26 | 一种复合铜箔及其制备方法和应用 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202311469243.5 | 2023-11-06 | CN117702114B | 2026-11-03 | 文宏福、卢宽宽、李天柱、汪永熙、吴旭明、闻玉凤 |
| 27 | 一种改进隔离阀的电子束焊机 | 实用新型 | 授权 | CN202320716470.2 | 2023-04-04 | CN219837305U | 2023-10-17 | 王昌高 |
| 28 | 一种稳定磁场的真空电子束焊机 | 实用新型 | 授权 | CN202320716428.0 | 2023-04-04 | CN219837304U | 2023-10-17 | 王昌高 |
| 29 | 一种废旧靶材中回收铟和锌的方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202211300269.2 | 2022-10-24 | CN115627358A | 2023-01-20 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 30 | 一种废旧靶材中回收铟和镓的方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202211300254.6 | 2022-10-24 | CN115650281B | 2024-02-23 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 31 | 一种提高柔性电致变色器件耐候性的方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202211179261.5 | 2022-09-27 | CN115629500A | 2023-01-20 | 文宏福、卢宽宽、李天柱、汪永熙、吴旭明 |
| 32 | 一种制备电致变色器件的方法及电致变色器件 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202211181812.1 | 2022-09-27 | CN115933263B | 2025-09-09 | 卢宽宽、文宏福、李天柱、汪永熙、吴旭明 |
| 33 | 一种用于高世代高清液晶显示的高纯多元合金溅射镀膜材料 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210536229.1 | 2022-05-17 | CN114921761B | 2023-01-17 | 文宏福、李培林 |
| 34 | 高世代高清液晶显示用高纯多元合金旋转溅射靶的生产工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210535330.5 | 2022-05-17 | CN115161603B | 2023-02-21 | 文宏福、李培林 |
| 35 | 一种靶材的清洗方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202011089333.8 | 2020-10-13 | CN112452946A | 2021-03-09 | 文宏福、郭文明 |
| 36 | 一种铝钕铟锌氧化物旋转靶及其制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010971405.5 | 2020-09-16 | CN112079626A | 2020-12-15 | 文宏福 |
| 37 | 一种由ITO废靶直接粉碎制粉并生产ITO靶材的制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010974752.3 | 2020-09-16 | CN112079627A | 2020-12-15 | 文宏福、李鹏、叶俊峰 |
| 38 | 一种大尺寸钕铝铟锌氧化物平面靶材及其制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010976305.1 | 2020-09-16 | CN112094103A | 2020-12-18 | 文宏福、李鹏 |
| 39 | 一种ITO平面靶材超声波清洗架及其制造方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010932280.5 | 2020-09-08 | CN112191610A | 2021-01-08 | 文宏福、蔡良 |
| 40 | 一种ITO旋转靶材的直线度检测设备及其使用方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010929160.X | 2020-09-07 | CN112097612A | 2020-12-18 | 文宏福、蔡良、王慧河 |
| 41 | 一种超高纯氧化铟粉体的制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010879381.0 | 2020-08-27 | CN112110480A | 2020-12-22 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 42 | 一种超细氧化铟粉体的制备方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010891883.5 | 2020-08-27 | CN112110481A | 2020-12-22 | 文宏福、叶俊峰、闻玉凤 |
| 43 | 一种平面靶材的自动喷砂设备 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权 | CN202020923484.8 | 2020-05-27 | CN212385284U | 2021-01-22 | 文宏福、郭文明 |
| 44 | 一种平面靶材的自动喷砂方法 | 发明专利 | 授权、专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202010462799.1 | 2020-05-27 | CN111451942B | 2025-05-16 | 文宏福、郭文明 |
| 45 | 一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202010363526.1 | 2020-04-30 | CN111534800B | 2021-02-26 | 文宏福、李培林 |
| 46 | 一种高纯铜旋转靶的制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202010251321.4 | 2020-04-01 | CN111451314B | 2021-02-26 | 文宏福、吴本明、张中美 |
| 47 | 一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具 | 实用新型 | 授权 | CN202020436216.3 | 2020-03-30 | CN212551615U | 2021-02-19 | 文宏福、吴本明 |
| 48 | 一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具 | 实用新型 | 授权 | CN202020436262.3 | 2020-03-30 | CN212664840U | 2021-03-09 | 文宏福、吴本明 |
| 49 | 一种铝合金靶材脱外模工装 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权 | CN201922155538.0 | 2019-12-04 | CN211539445U | 2020-09-22 | 文宏福、吴本明 |
| 50 | 一种低密度ITO靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、发明专利申请公布 | CN201910773128.4 | 2019-08-21 | CN110483033B | 2022-02-08 | 叶俊峰、文宏福 |
天眼查数据显示,东莞市欧莱溅射靶材有限公司成立日期2009年9月1日,法定代表人文宏福,所属行业为通用设备制造业,企业规模为小型,注册资本2000万人民币,实缴资本2000万人民币,注册地址为东莞市厚街镇汀山村汀山路121号。东莞市欧莱溅射靶材有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息138条,拥有行政许可50个。
东莞市欧莱溅射靶材有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种高密度氧化锡基陶瓷靶材及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410636250.8 | 2024-05-22 | CN118515477A | 2024-08-20 | 文宏福、李鹏、蔡正明 |
| 2 | 一种改进加热控制电路的靶材熔炼装置 | 实用新型 | 授权 | CN202323586985.4 | 2023-12-27 | CN222139244U | 2024-12-10 | 李兵 |
| 3 | 一种改进端盖篦板的振动磨机 | 实用新型 | 授权 | CN202323489774.9 | 2023-12-21 | CN221472033U | 2024-08-06 | 李天柱 |
| 4 | 一种自动清理积瘤的靶材喷涂机喷枪 | 实用新型 | 授权 | CN202323489741.4 | 2023-12-21 | CN222226557U | 2024-12-24 | 李兵 |
| 5 | 一种用于复合铜箔的界面修饰层薄膜及其制备方法与应用 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311712161.9 | 2023-12-13 | CN117691120A | 2024-03-12 | 文宏福、李天柱、卢宽宽、李培林、吴旭明 |
| 6 | 一种旋转靶材的内径校直方法 | 发明专利 | 授权 | CN202311700299.7 | 2023-12-12 | CN117732922B | 2026-02-10 | 伍温良 |
| 7 | 一种复合铜箔及其制备方法和应用 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202311469243.5 | 2023-11-06 | CN117702114B | 2026-11-03 | 文宏福、卢宽宽、李天柱、汪永熙、吴旭明、闻玉凤 |
| 8 | 一种改进隔离阀的电子束焊机 | 实用新型 | 授权 | CN202320716470.2 | 2023-04-04 | CN219837305U | 2023-10-17 | 王昌高 |
| 9 | 一种稳定磁场的真空电子束焊机 | 实用新型 | 授权 | CN202320716428.0 | 2023-04-04 | CN219837304U | 2023-10-17 | 王昌高 |
| 10 | 一种靶材的清洗方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202011089333.8 | 2020-10-13 | CN112452946A | 2021-03-09 | 文宏福、郭文明 |
| 11 | 一种平面靶材的自动喷砂设备 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权 | CN202020923484.8 | 2020-05-27 | CN212385284U | 2021-01-22 | 文宏福、郭文明 |
| 12 | 一种平面靶材的自动喷砂方法 | 发明专利 | 授权、专利申请权、专利权的转移、公布 | CN202010462799.1 | 2020-05-27 | CN111451942B | 2025-05-16 | 文宏福、郭文明 |
| 13 | 一种浇杯 | 实用新型 | 授权 | CN202020760137.8 | 2020-05-09 | CN213052638U | 2021-04-27 | 文宏福、吴本明 |
| 14 | 一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202010363526.1 | 2020-04-30 | CN111534800B | 2021-02-26 | 文宏福、李培林 |
| 15 | 一种旋转靶材精确喷涂装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020614849.9 | 2020-04-22 | CN211628066U | 2020-10-02 | 李兵 |
| 16 | 一种靶材帮定控温装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020614865.8 | 2020-04-22 | CN211786811U | 2020-10-27 | 李兵 |
| 17 | 一种旋转靶绑定工装夹具 | 实用新型 | 授权 | CN201921362099.4 | 2020-04-13 | CN210796609U | 2020-06-19 | 陈明恒 |
| 18 | 一种高纯铜旋转靶的制备方法 | 发明专利 | 授权、著录事项变更、实质审查的生效、公布 | CN202010251321.4 | 2020-04-01 | CN111451314B | 2021-02-26 | 文宏福、吴本明、张中美 |
| 19 | 一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具 | 实用新型 | 授权 | CN202020436216.3 | 2020-03-30 | CN212551615U | 2021-02-19 | 文宏福、吴本明 |
| 20 | 一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具 | 实用新型 | 授权 | CN202020436262.3 | 2020-03-30 | CN212664840U | 2021-03-09 | 文宏福、吴本明 |
| 21 | 一种ITO旋转靶绑定方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202010157218.3 | 2020-03-09 | CN111304605A | 2020-06-19 | 陈明恒 |
| 22 | 一种用于旋转靶绑定的加热装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020277786.2 | 2020-03-09 | CN211406299U | 2020-09-01 | 陈明恒 |
| 23 | 一种半自动旋转靶氧化皮去除装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020277832.9 | 2020-03-09 | CN211839177U | 2020-11-03 | 陈明恒 |
| 24 | 一种旋转靶超声涂铟设备 | 实用新型 | 授权 | CN202020277233.7 | 2020-03-09 | CN212051626U | 2020-12-01 | 陈明恒 |
| 25 | 一种旋转靶绑定的旋转定位装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020240937.7 | 2020-03-03 | CN211445883U | 2020-09-08 | 张益 |
| 26 | 一种用于靶材检漏的快装接头结构 | 实用新型 | 授权 | CN202020062914.1 | 2020-01-13 | CN211624508U | 2020-10-02 | 郭文明 |
| 27 | 一种平面靶材表面CNC加工夹具 | 实用新型 | 授权 | CN202020064358.1 | 2020-01-13 | CN211760778U | 2020-10-27 | 叶峰 |
| 28 | 一种用于大型平面靶的吊具装置 | 实用新型 | 授权 | CN202020064396.7 | 2020-01-13 | CN212050158U | 2020-12-01 | 叶峰 |
| 29 | 一种钛铝合金靶材的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布 | CN202010027191.6 | 2020-01-10 | CN111101105B | 2020-10-27 | 张中美 |
| 30 | 一种旋转检测平台 | 实用新型 | 授权 | CN201922480072.1 | 2019-12-31 | CN210981136U | 2020-07-10 | 张益 |
| 31 | 一种改进的等离子喷涂设备 | 实用新型 | 授权 | CN201922480095.2 | 2019-12-31 | CN211170834U | 2020-08-04 | 兰冰 |
| 32 | 一种磁控溅射设备的绝缘轴承座装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922477452.X | 2019-12-31 | CN211170868U | 2020-08-04 | 汪永熙 |
| 33 | 一种用于平面靶材表面纹理处理的拉丝装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922480108.6 | 2019-12-31 | CN211388186U | 2020-09-01 | 郭文明 |
| 34 | 一种平面靶整组固定包装装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922466322.6 | 2019-12-31 | CN211443210U | 2020-09-08 | 郭文明 |
| 35 | 一种平面靶整组保护固定包装装置 | 实用新型 | 避免重复授权放弃专利权、授权 | CN201922466355.0 | 2019-12-31 | CN211443211U | 2020-09-08 | 郭文明 |
| 36 | 一种用于等离子喷涂设备的多材料混合器 | 实用新型 | 授权 | CN201922469525.0 | 2019-12-31 | CN211612516U | 2020-10-02 | 汪永熙 |
| 37 | 一种平面靶整组包装装置及整组包装方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN201911418448.4 | 2019-12-31 | CN110979864B | 2024-02-06 | 郭文明 |
| 38 | 一种旋转靶检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922322833.0 | 2019-12-23 | CN210952670U | 2020-07-07 | 郭文明 |
| 39 | 一种平面溅射靶材快速冷却装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922330056.4 | 2019-12-23 | CN211394612U | 2020-09-01 | 郭文明 |
| 40 | 一种磁控溅射设备的真空腔体的密封装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922329012.X | 2019-12-23 | CN211398567U | 2020-09-01 | 汪永熙 |
| 41 | 一种旋转溅射靶材管口保护装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922330026.3 | 2019-12-23 | CN211443406U | 2020-09-08 | 郭文明 |
| 42 | 一种靶材加工的移动吊装装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922322867.X | 2019-12-23 | CN211444694U | 2020-09-08 | 郭文明 |
| 43 | 一种靶材便捷包装平台 | 实用新型 | 授权 | CN201922322866.5 | 2019-12-23 | CN211766849U | 2020-10-27 | 郭文明 |
| 44 | 一种平面靶加工的移动工装装置 | 实用新型 | 授权 | CN201922322802.5 | 2019-12-23 | CN211769770U | 2020-10-27 | 郭文明 |
| 45 | 一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构 | 实用新型 | 授权 | CN201922268101.8 | 2019-12-17 | CN211388351U | 2020-09-01 | 郭文明 |
| 46 | 一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台 | 实用新型 | 授权 | CN201922268069.3 | 2019-12-17 | CN211615542U | 2020-10-02 | 郭文明 |
| 47 | 一种铝合金靶材脱外模工装 | 实用新型 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更、授权 | CN201922155538.0 | 2019-12-04 | CN211539445U | 2020-09-22 | 文宏福、吴本明 |
| 48 | 一种具有水道防护装置的平面靶背板 | 实用新型 | 授权 | CN201921943939.6 | 2019-11-12 | CN210886211U | 2020-06-30 | 郭文明 |
| 49 | 一种平面ITO靶材的绑定方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、发明专利申请公布 | CN201910774101.7 | 2019-08-21 | CN110408899A | 2019-11-05 | 文锋 |
| 50 | 一种靶材浇铸加热装置 | 实用新型 | 授权 | CN201921362100.3 | 2019-08-21 | CN210305714U | 2020-04-14 | 黄汝峰、刘贵兵 |