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补齐电子特气产业化“中间断层”——记中船派瑞集成电路用电子特种气体及材料研发中试平台

市场资讯 11.02 10:50

(来源:中化新网)

近日,工信部公示第二批重点培育中试平台名单,由中船集团七一八所旗下中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司建设运营的“中船派瑞集成电路用电子特种气体及材料研发中试平台”成功入选。

电子特气附加值高、危险性强,多为自燃、有毒、强腐蚀气体,对防爆、安全仪表系统、尾气处理、泄漏检测和“三废”处置要求极高;同时,电子级产品对洁净度、水分和氧分杂质控制严苛,普通中试装置在硬件和洁净环境上难以达到电子级标准。此外,中试项目多为研发迭代项目,批次多、批量小,产出不稳定,短期经济效益差,多数企业不愿投入建设专业中试平台。

中船派瑞特气公司长期深耕电子特气领域,基于自身积累建设运营该中试平台。平台聚焦集成电路用电子特气及材料,覆盖电子特气五大主流制备专业,配套分析、环保、自动化控制系统,着力补齐行业“实验室小试到产业化量产”的中间断层,是国内少数具备危化品合规中试和电子级纯度精密质控双重资质的综合试验载体。

当前,随着电子特气国产化进程加快和半导体工艺迭代提速,电子特气研发节奏明显加快。相关企业虽擅长工艺落地和安全管控,但基础理论创新不足,自主研发周期长、试错成本高。对此,该中试平台联合化工领域头部高校,形成“自主筹资+高校联合”的经营模式:在建设运营方面,企业自主筹资、快速实现资金投入;在科研方面,引进头部高校成熟的科研成果、科研团队和理论模型,补齐企业基础创新短板。

该模式已见成效。在高纯电子气体一期项目中,三氟化氮自动化混料中试工艺经相关高校技术团队理论评估、工艺计算后,由企业开展中试工艺验证,成功应用于高纯电子气体一期工业化生产,并推进混料工序自动化,提升了企业安全生产水平。在高纯丙烯项目中,该中试平台通过引进相关高校设计的精馏提纯系统,实现丙烯产品纯度大幅提升,满足客户终端需求。

安全是电子特气生产的底板,安全体系则是筑牢底板的关键。电子特气多为自燃、有毒、强腐蚀气体,一旦泄漏,可能造成人员伤害、环境污染和财产损失。

基于此,平台构建了覆盖“原料—试验—‘三废’处置”的全链条标准化安全体系。在原料端,平台建立物料准入评审、分类存储、领用记录;在试验端,落实项目安全评审、分级管控、标准化作业、在线监测与特殊作业许可;在“三废”处理端,实施分类收集、分区防渗暂存、资质单位合规转运处置。同时,该中试平台配套建立组织责任、隐患排查、应急演练、人员培训和全过程追溯机制,实现从物料进场到危废最终处置的全流程安全闭环。

在夯实安全基础的同时,平台也在谋划下一步发展,将重点从资质提升和业务深耕两方面发力。资质提升方面,该公司将继续完善试验基础条件,按照最全种类、最严要求提前配置不同材质、不同大小的试验设备及不同类型标准化模块,实现核心部件快速更换和工艺流程快速重组;产品谱系建设方面,围绕集成电路产业需求丰富产品谱系,持续推进电子特气国产化;专业服务能力方面,探索建立风险管控和中试收益分配机制。在业务深耕方面,该公司将继续深耕电子特气行业,深入参与国家中试标准体系建设,同时推进中试工艺流程自动化,减少人员现场操作,实现科技兴安。

(本系列报道到此结束)

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