10月31日消息，国家知识产权局信息显示，锦州神工半导体股份有限公司申请一项名为“一种硅片研磨方法以及硅片”的专利，授权公告号CN115922556B，授权公告日为2026年10月27日。申请公布号为CN115922556A，申请号为CN202211702518.0，申请公布日期为2026年10月27日，申请日期为2022年12月28日，发明人季军、李猛，专利代理机构北京易捷胜知识产权代理有限公司，专利代理师薛晓萌，分类号B24B37/08、B24B37/34、B24B49/00、B24B49/16。
专利摘要显示，本发明涉及一种硅片研磨方法以及硅片，研磨方法包括如下步骤：S1：配制研磨液。S2：将待研磨的硅片放置在研磨机的上磨盘与下磨盘之间。S3：将研磨液加入研磨机。S4：调整研磨机的研磨压力、旋转速度，以及研磨液的流量，启动研磨机对硅片进行研磨，研磨完成后，得到研磨初成品。S5：对研磨初成品进行后处理以及品质检测，选出合格的硅片。步骤S1中，研磨液的比重为1.20g/cc‑1.28g/cc，步骤S4中，研磨液的流量为0.7L/min‑2L/min。本发明同时将研磨液的流量以及研磨液的比重调节至适当范围，提升了研磨效果，获得了表面无缺陷且光洁度良好，研磨前后总厚度变化≤1.5μm的良品硅片。
神工股份是国内领先的半导体级单晶硅材料供应商，深耕大尺寸硅单晶领域具备突出技术壁垒。公司成立于2013年7月24日，于2020年2月21日登陆上海证券交易所，注册及办公地址均位于辽宁省锦州市。
神工股份主营业务为半导体级单晶硅材料的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体材料，当前覆盖半导体产业、半导体、碳基半导体三大概念板块。
2026年三季度，神工股份实现营业收入3.3亿元，在所属半导体材料行业30家可比公司中排名第28位，当期行业营收第一名有研新材达84.62亿元、第二名雅克科技为67.21亿元，行业平均营收17.95亿元，行业中位数为9.67亿元；同期公司实现净利润6631.76万元，行业排名第20位，行业净利润榜首雅克科技录得9.34亿元，第二名江丰电子为7.09亿元，行业平均净利润1.44亿元，行业中位数为8828.74万元。
| 指标类型 | 统计周期 | 公司数值 | 行业排名/总样本数 | 行业头部企业数值 | 行业平均数 | 行业中位数 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 营业收入 | 2026年三季度 | 3.3亿元 | 28/30 | 第一名有研新材84.62亿元、第二名雅克科技67.21亿元 | 17.95亿元 | 9.67亿元 |
| 净利润 | 2026年三季度 | 6631.76万元 | 20/30 | 第一名雅克科技9.34亿元、第二名江丰电子7.09亿元 | 1.44亿元 | 8828.74万元 |
锦州神工半导体股份有限公司近期专利情况如下：
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 基于多气氛梯度置换和原位钝化的低氧单晶硅生长方法及低氧单晶硅 | 发明专利 | 发明专利申请公布、公布 | CN202611246298.3 | 2026-08-17 | CN122898954A | 2026-10-13 | 付砚耕、方华 |
| 2 | 一种低应力的多晶硅铸锭制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202611118233.0 | 2026-07-27 | CN122649084A | 2026-08-28 | 路岩峰、方华 |
| 3 | 一种硅片边缘缺陷检测方法及装置 | 发明专利 | CN202611013864.6 | 2026-07-08 | CN122989559A | 2026-10-27 | 郑智玮、方华、刘文涛、邢佳欣 | |
| 4 | 单晶炉导流结构的维护装置 | 实用新型 | 授权 | CN202522180586.0 | 2025-10-15 | CN224728659U | 2026-09-08 | 李辰宇、张强、秦朗、刘文涛、付岩松 |
| 5 | 线切割机切割方法、计算机可读存储介质和金刚线切割机 | 发明专利 | 授权 | CN202511219173.7 | 2025-08-28 | CN121246049B | 2026-07-24 | 高博、李辰宇、路岩峰、付砚耕、秦朗、付岩松 |
| 6 | 自冷却搅拌装置和硅片研磨砂浆搅拌系统 | 实用新型 | 授权 | CN202521839493.8 | 2025-08-28 | CN224631027U | 2026-08-14 | 唐家斌、卞梁、郑智玮、宋博、刘文涛 |
| 7 | 抛光机抛头下压力板组件的拆卸工装 | 实用新型 | 授权 | CN202521839485.3 | 2025-08-28 | CN224630580U | 2026-08-14 | 刘文涛、卞梁、郑智玮、宋博、秦朗 |
| 8 | 硅筒加工刀具和硅棒钻孔装置 | 实用新型 | 授权 | CN202521838929.1 | 2025-08-28 | CN224643990U | 2026-08-18 | 高博、李辰宇、路岩峰、付砚耕、杨睿宁 |
| 9 | 用于粘接硅棒和切片机树脂板的抹胶装置 | 实用新型 | 授权 | CN202521838911.1 | 2025-08-28 | CN224657251U | 2026-08-21 | 张亮、刘文涛、卞梁、郑智玮、宋博 |
| 10 | 一种降低硅片Fe含量的硅片清洗工艺 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202411869683.4 | 2024-12-18 | CN119786336A | 2025-04-08 | 宋博、卞梁、秦朗、杨昱 |
| 11 | 一种石英管的清洗装置 | 实用新型 | 授权 | CN202422884562.9 | 2024-11-26 | CN223717895U | 2025-12-26 | 宋博、卞梁、秦朗、杨昱 |
| 12 | 一种硅片碱腐蚀后背表面的处理方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202410824958.6 | 2024-06-25 | CN118824849A | 2024-10-22 | 卞梁、秦朗、杨昱 |
| 13 | 一种实现硅片单面腐蚀的装置 | 实用新型 | 授权 | CN202421458704.9 | 2024-06-25 | CN222867629U | 2025-05-13 | 卞梁、秦朗、杨昱 |
| 14 | 一种控制直拉法单晶硅中氧含量分布的方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202311838625.0 | 2023-12-28 | CN117926394A | 2024-04-26 | 秦朗、李辰宇、张强 |
| 15 | 一种多线切割机进给速度控制方法、存储介质及系统 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布 | CN202311824687.6 | 2023-12-27 | CN117656274A | 2024-03-08 | 高博、秦朗 |
| 16 | 一种改善硅零部件厚度公差和加工效率的工作台 | 实用新型 | 授权 | CN202323545509.8 | 2023-12-25 | CN221495612U | 2024-08-09 | 谢岩、秦朗 |
| 17 | 一种用于单晶硅棒的运输托架 | 实用新型 | 授权 | CN202323205118.1 | 2023-11-27 | CN221115175U | 2024-06-11 | 张强 |
| 18 | 一种用于切割脆硬材料的立式异型切割机 | 实用新型 | 授权 | CN202322936906.1 | 2023-10-31 | CN221475675U | 2024-08-06 | 高博 |
| 19 | 一种硅片置物架 | 实用新型 | 授权 | CN202322486471.5 | 2023-09-13 | CN220774317U | 2024-04-12 | 朱铭臣 |
| 20 | 一种用于单晶炉炉内的清洁装置 | 实用新型 | 授权 | CN202322427686.X | 2023-09-07 | CN221109262U | 2024-06-11 | 高博 |
| 21 | 一种硅片研磨方法以及硅片 | 发明专利 | 发明专利权授予、授权、实质审查的生效、公布 | CN202211702518.0 | 2022-12-28 | CN115922556B | 2026-10-27 | 季军、李猛 |
| 22 | 一种方便排液的半导体浸泡箱 | 实用新型 | 授权 | CN202222904578.2 | 2022-11-02 | CN218475691U | 2023-02-14 | 辛承栋、方华、蒋树秋、吴振清、苏斌、谢欢 |
| 23 | 一种钻孔机装置 | 实用新型 | 授权 | CN202222800028.6 | 2022-10-24 | CN219026027U | 2023-05-16 | 董净雨、杜勇、肖瑞祥、郑雅娇、方华 |
| 24 | 反倒角刀具及其制造方法、加工硅电极通透螺纹加工方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202211289680.4 | 2022-10-20 | CN115502903A | 2022-12-23 | 王楠、张海波、宋洋、高哲 |
| 25 | 一种修整抛光垫的装置 | 实用新型 | 授权 | CN202222779036.7 | 2022-10-20 | CN219113781U | 2023-06-02 | 杨昱、卞梁 |
| 26 | 一种立式滚磨设备用硅筒工装 | 实用新型 | 授权 | CN202222713012.1 | 2022-10-12 | CN218556662U | 2023-03-03 | 董净雨、方华、高博 |
| 27 | 一种硅片脱胶装置 | 实用新型 | 授权 | CN202222685553.8 | 2022-10-12 | CN218902887U | 2023-04-25 | 董净雨、方华、孙鹏、杜勇、郑雅娇 |
| 28 | 转运车 | 实用新型 | 授权 | CN202222597833.3 | 2022-09-29 | CN218558869U | 2023-03-03 | 马思达、季军 |
| 29 | 一种单晶硅片表面微纳米复合结构的制备方法 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202210359610.5 | 2022-04-07 | CN114686989B | 2023-06-27 | 王冰、潘连胜、商剑、何翠翠、秦朗、齐锦刚、赵作福、刘亮 |
| 30 | 一种用于滚磨单晶硅棒外圆的滚磨机 | 实用新型 | 授权 | CN202220332553.7 | 2022-02-15 | CN217317239U | 2022-08-30 | 潘连胜、何翠翠、秦朗 |
| 31 | 一种单晶硅片切割方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202210055094.7 | 2022-01-18 | CN114347281A | 2022-04-15 | 王冰、潘连胜、商剑、何翠翠、秦朗、齐锦刚、赵作福、刘亮 |
| 32 | 一种用于硅片表面加工的磨削头及其磨削方法 | 发明专利 | 发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布 | CN202111619028.X | 2021-12-27 | CN114274062A | 2022-04-05 | 高哲、张海波、王楠、宋洋、谢岩 |
| 33 | 一种改善硅片平整度的裸抛机 | 实用新型 | 授权 | CN202122919302.7 | 2021-11-25 | CN216442296U | 2022-05-06 | 谢猛、杨昱、孔铮 |
| 34 | 一种拆卸和黏贴抛光垫的工装 | 实用新型 | 授权 | CN202122919297.X | 2021-11-25 | CN216442289U | 2022-05-06 | 谢猛、杨昱、孔铮 |
| 35 | 一种清洗机连续上料机构 | 实用新型 | 授权 | CN202122919292.7 | 2021-11-25 | CN216444570U | 2022-05-06 | 卞梁、杨昱 |
| 36 | 一种石英件运输车 | 实用新型 | 授权 | CN202122879391.7 | 2021-11-23 | CN216443632U | 2022-05-06 | 孔铮、季军、杨昱 |
| 37 | 一种硅片表面清洗方法及清洗液 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202111389708.7 | 2021-11-22 | CN114101193B | 2023-07-14 | 卞梁、潘连胜、秦朗 |
| 38 | 一种改善硅片表面粗糙度的抛光工艺 | 发明专利 | 授权、实质审查的生效、公布 | CN202111389663.3 | 2021-11-22 | CN114055256B | 2023-07-25 | 卞梁、潘连胜、何翠翠 |
| 39 | 一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法 | 发明专利 | 授权、公布 | CN202111387781.0 | 2021-11-22 | CN114093760B | 2024-11-29 | 卞梁、潘连胜、杨昱 |
| 40 | 退胶炉加热计时装置 | 实用新型 | 授权 | CN202122711866.1 | 2021-11-08 | CN216215848U | 2022-04-05 | 高博 |
| 41 | 一种研磨砂浆罐 | 实用新型 | 授权 | CN202122611384.9 | 2021-10-27 | CN216504311U | 2022-05-13 | 季军、李猛 |
| 42 | 一种晶体生产用辅助控制器 | 实用新型 | 授权 | CN202122583089.7 | 2021-10-26 | CN216445502U | 2022-05-06 | 张强、潘宏伟、李松、付砚耕 |
| 43 | 一种反应炉用防尘装置 | 实用新型 | 授权 | CN202122583087.8 | 2021-10-26 | CN216668333U | 2022-06-03 | 王青辉、李玮 |
| 44 | 一种用于非接触式厚度测量仪的检测平台 | 实用新型 | 授权 | CN202122584643.3 | 2021-10-26 | CN216668656U | 2022-06-03 | 马思达、季军 |
| 45 | 环吸除尘式装料设备 | 实用新型 | 授权 | CN202022975257.2 | 2020-12-14 | CN214142613U | 2021-09-07 | 李辰宇、潘连胜 |
| 46 | 一种硅盘倒角装置 | 实用新型 | 授权 | CN202022837775.8 | 2020-11-30 | CN214351403U | 2021-10-08 | 辛承栋、谢岩 |
| 47 | 一种多线切割液槽体内部过滤结构 | 实用新型 | 授权 | CN202022686948.0 | 2020-11-19 | CN215094803U | 2021-12-10 | 谢岩 |
| 48 | 一种复投料分类装置 | 实用新型 | 授权 | CN202021567195.5 | 2020-07-31 | CN213651088U | 2021-07-09 | 秦朗、何翠翠、潘连胜 |
| 49 | 一种硅环加工抛光装置 | 实用新型 | 授权 | CN202021550431.2 | 2020-07-30 | CN213438988U | 2021-06-15 | 何翠翠、秦朗、潘连胜 |
| 50 | 一种单晶硅片裂隙检测装置 | 实用新型 | 授权 | CN202021418982.3 | 2020-07-17 | CN212513478U | 2021-02-09 | 潘连胜、秦朗、何翠翠 |
