10月30日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF鹏华（589020）跌1.83%，报0.751元，成交额2.86亿元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科截止午盘跌3.30%，中科飞测跌2.33%，中微公司跌2.63%，拓荆科技跌3.20%，芯源微跌4.92%，华峰测控跌4.22%，盛美上海跌2.84%，沪硅产业跌1.04%，安集科技跌1.10%，富创精密跌3.74%。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为54.06%，近一个月回报为-32.60%。
