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中科飞测申请晶圆缺陷检测相关专利，该方法提升晶圆缺陷的检测精度

新浪证券-红岸工作室

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10月30日消息，国家知识产权局信息显示，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“晶圆缺陷的检测方法、计算机可读存储介质”的专利。申请公布号为CN122962883A，申请号为CN202611107269.9，申请公布日期为2026年10月23日，申请日期为2026年7月23日，发明人韩子轲、杨锦涛、陈鲁，专利代理机构深圳鼎合诚知识产权代理有限公司，专利代理师陈树锴、彭家恩，分类号G03F1/72、G03F1/84、G06T7/00、H10P74/20、H10P74/00、G01N21/01、G03F7/20、G03F9/00。

专利摘要显示，本发明公开一种晶圆缺陷的检测方法和计算机可读存储介质，检测方法包括：获取待测晶圆在裸片状态下的表面高度图；基于表面高度图计算焦平面调整参数；基于表面高度图和焦平面调整参数，计算按焦平面调整参数调整光刻机的焦平面和待测晶圆的相对位置后，光刻机的焦平面与待测晶圆表面存在的误差，确定调平补偿残差图；基于调平补偿残差图检测待测晶圆表面的缺陷。由于调平补偿残差图能够反映在光刻过程中，光刻机形成的焦平面与实际上精准的焦平面之间的误差，同时，调平补偿残差图的高度分布范围相较于原始的表面高度图缩小，更加精细，从而能够有效检测出无法通过调平校正的缺陷，提高了检测精度。

中科飞测是国内领先的半导体检测量测设备供应商，拥有自主可控核心技术壁垒。公司2014年12月31日成立，2023年5月19日登陆上海证券交易所，注册及办公地点均位于广东省深圳市。

公司主营业务为检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备赛道，同时覆盖半导体检测、HBM概念、半导体设备三大热门概念板块。

2026年三季度，中科飞测实现营业收入16.14亿元，在25家同行业可比公司中排名第9，低于行业平均29.83亿元水平，高于11.62亿元的行业中位数，同期行业内营收排名前两位的企业分别为北方华创（314.67亿元）、长川科技（59.42亿元）；当期公司净利润为-9513.07万元，行业排名24/25，显著低于行业6.02亿元的平均净利润水平与1.45亿元的行业中位数，同期行业净利润前两位企业分别为北方华创（51.94亿元）、拓荆科技（24.05亿元）。

指标类别 当期数值 行业排名/总家数 行业头部标杆值 行业平均数 行业中位数
2026年三季度营业收入 16.14亿元 9/25 北方华创314.67亿元、长川科技59.42亿元 29.83亿元 11.62亿元
2026年三季度净利润 -9513.07万元 24/25 北方华创51.94亿元、拓荆科技24.05亿元 6.02亿元 1.45亿元

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种多通道图像融合缺陷增强方法及相关产品发明专利发明专利申请公布、公布CN202611363975.X2026-09-03CN122905877A2026-10-13陈鲁、黄有为、张龙、李洪波
2一种探针针痕的检测方法、装置及可读存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202611256023.82026-08-18CN122906043A2026-10-13张鹏斌、林海新、陈鲁
3光学量测系统发明专利发明专利申请公布、公布CN202611193335.92026-08-06CN122982929A2026-10-27王南朔、杨长英、孙晶露、马砚忠、陈鲁
4一种卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202611179734.X2026-08-05CN122679879A2026-09-01张鹏斌、仇志远、王福旺、陈鲁
5一种叠层晶圆中心偏移量测量方法及相关装置发明专利公布CN202611169872.X2026-08-03CN122729886A2026-09-11金争、代富贵、盛浩、陈鲁
6晶圆缺陷图像的合成方法及模型训练方法、缺陷检测方法发明专利发明专利申请公布、公布CN202611106059.82026-07-23CN122928643A2026-10-16肖安七、张嵩、陈鲁
7晶圆缺陷的检测方法、计算机可读存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202611107269.92026-07-23CN122962883A2026-10-23韩子轲、杨锦涛、陈鲁
8一种晶圆凸点高度测量方法、系统及存储介质发明专利CN202611054688.02026-07-15CN122952920A2026-10-20顾玥、张鹏斌、陈鲁
9半导体版图与光学图的对齐方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202611001185.72026-07-07CN122636675A2026-08-25齐鑫、张鹏斌、李楠楠、陈鲁
10一种螺旋扫描坐标逆向映射方法及相关产品发明专利公布CN202610992454.42026-07-03CN122736931A2026-09-11陈鲁、黄有为、张龙、徐雨哲
11消相干照明系统以及通过消相干获取照明光的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610977127.12026-07-01CN122632464A2026-08-25陈鲁、黄有为、杨雪芳、赵哲承
12一种机台的晶圆产能计算方法、计算装置及计算系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610963067.82026-06-30CN122594625A2026-08-18荣楠、陈鲁、金炼
13模型构建方法及装置、形貌量测方法、存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202610959379.12026-06-29CN122948757A2026-10-20温朗枫、马砚忠、张荣臻、陈鲁
14测量方法、测量装置及存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202610954759.62026-06-29CN122965087A2026-10-23温朗枫、马砚忠、王才、陈鲁
15边界信息确定方法及装置、电磁场分析及形貌量测方法发明专利发明专利申请公布、公布CN202610958407.82026-06-29CN122990226A2026-10-27马砚忠、温朗枫、张荣臻、陈鲁
16面型计算系统和面型计算方法发明专利公布CN202610893239.92026-06-22CN122432442A2026-07-21郁健、马砚忠、余涛、陈鲁
17移相同步监控补偿的干涉仪及控制方法发明专利授权CN202610870545.02026-06-16CN122384663B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁
18光纤的光场检测装置和光场检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610868530.02026-06-15CN122671126A2026-09-01路长庚、莫云杰、吕肃、陈鲁
19孔结构尺寸确定方法及X射线显微成像系统发明专利CN202610847309.72026-06-11CN122858324A2026-10-02李炎、马砚忠、陈鲁、李明涛
20误差确定方法、量测系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610813139.02026-06-05CN122798712A2026-09-22刘欢敏、吕帅、吕肃、陈鲁
21焊柱高度测量方法、芯片倾角测量方法及焊柱高度测量系统发明专利公布CN202610787831.02026-06-02CN122544657A2026-08-11马砚忠、陈鲁、张越
22多层焊柱的高度测量方法、芯片倾角测量方法及多层焊柱的高度测量系统发明专利公布CN202610788009.62026-06-02CN122641323A2026-08-25陈鲁、马砚忠、张越
23不同角度下量测点的定位方法、定位系统、小角散射系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610748017.82026-05-27CN122612641A2026-08-21陈鲁、马砚忠、李鹰
24扫描电子显微镜发明专利实质审查的生效、公布CN202610702437.22026-05-20CN122638408A2026-08-25吕肃、陈鲁、朱春涛
25一种半导体厚度测量系统及其测量方法、存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202610660291.X2026-05-14CN122982038A2026-10-27郁健、杨东、马砚忠、陈鲁
26一种标准片及掩膜版发明专利授权CN202610653251.22026-05-13CN122267035B2026-09-08吕肃、蒋路翔、陈鲁
27一种掩膜版缺陷检测方法和相关装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610653893.22026-05-12CN122492647A2026-07-31陈鲁、黄有为、杨坚
28一种图像对位方法、装置及存储介质发明专利授权CN202610637168.62026-05-11CN122223079B2026-08-11张鹏斌、韩欣、潘浩、齐鑫、陈鲁
29芯片角度调整方法、装置及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610612432.02026-05-06CN122497326A2026-07-31李炎、李鹰、马砚忠、陈鲁
30测量方法、测量设备和计算机可读存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202610604745.12026-04-30CN122982071A2026-10-27袁明波、杨东、马砚忠、陈鲁
31几何参数标定方法、计算机层析成像方法和系统、介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610551857.52026-04-23CN122573798A2026-08-14李炎、邹翔、马砚忠、陈鲁
32一种检测系统及其自动调焦方法、存储介质发明专利授权CN202610541586.52026-04-23CN122120580B2026-09-08尉佩、马砚忠、陈鲁
33产品的检测方法、检测系统和服务器发明专利实质审查的生效、公布CN202610451627.12026-04-07CN122415314A2026-07-17陈明山、黄有为、陈鲁
34渲染模型的校准方法、校准系统及存储介质发明专利公布CN202610449883.72026-04-07CN122435107A2026-07-21柯贤华、黄有为、陈鲁
35表面形貌测量方法发明专利CN202610451466.62026-04-07CN122989520A2026-10-27马砚忠、杨东、陈鲁
36一种大尺寸曲晶圆形貌测量装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610429525.X2026-04-02CN122305979A2026-06-30孙晶露、马砚忠、邓忠寒、陈鲁
37金属薄膜光声信号零点测量方法、装置、设备及存储介质发明专利公布CN202610399241.02026-03-27CN122430249A2026-07-21白园园、崔舒涵、马砚忠、陈鲁
38缓存装置、检测设备及检测工艺发明专利授权CN202610378049.32026-03-26CN121941304B2026-06-19马砚忠、余涛、王见、陈鲁
39波场计算方法和装置、散射图像获取方法及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610361993.82026-03-23CN122259619A2026-06-23温朗枫、马砚忠、张兴民、陈鲁
40一种成像装置及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610351971.32026-03-20CN122238387A2026-06-19李炎、王旭、马砚忠、陈鲁
41量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347630.92026-03-20CN122258790A2026-06-23袁明波、王见、马砚忠、陈鲁
42量测设备及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610347632.82026-03-20CN122258791A2026-06-23陈鲁、袁明波、马砚忠、王见
43半导体检测设备发明专利发明专利申请公布、公布CN202610347633.22026-03-20CN122995617A2026-10-27陈鲁、余涛、马砚忠
44定位标识的识别方法、半导体检测系统和存储介质发明专利发明专利申请公布、公布CN202610349770.X2026-03-20CN122995618A2026-10-27袁明波、杨东、马砚忠、陈鲁
45扫描电子显微镜工作距离的校准方法、扫描电子显微系统和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203146.92026-02-11CN122108011A2026-05-29邵双方、吕肃、陈鲁
46结构参数反演方法、测量设备及计算机可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610203714.52026-02-11CN122170767A2026-06-09李炎、周中正、温朗枫、马砚忠、陈鲁
47一种膜厚虚拟量测方法、模型训练方法及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610121250.32026-01-28CN122153281A2026-06-05任泽林、田旷达、庄旭、张嵩、陈鲁
48一种根因定位方法、根因定位系统及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610120891.72026-01-28CN122220959A2026-06-16田旷达、杨思晓、张嵩、陈鲁
49开关防护装置及X射线检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610097307.02026-01-23CN122050905A2026-05-15李炎、邢立娜、马砚忠、陈鲁
50成像系统以及成像方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610094342.72026-01-23CN122131550A2026-06-02姚本溪、郝柏尊、吕肃、陈鲁

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