启微半导体至纯科技取得晶圆夹爪结构相关专利，该晶圆夹爪可防损减污实现超洁净传输

10月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏启微半导体设备有限公司、上海至纯洁净系统科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆夹爪结构”的专利，授权公告号CN224891084U，授权公告日为2026年10月23日。申请号为CN202522549856.0，申请公布日期为2026年10月23日，申请日期为2025年12月1日，发明人丁日成、王翼镭、朱志豪，专利代理机构上海远同律师事务所，专利代理师张坚，分类号H10P72/76、H10P72/30。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种晶圆夹爪结构，包括两侧板、横向连接于两侧板之间的支撑杆、横向连接于两侧板之间并位于支撑杆下方的夹具。该夹具包括两个材料为PTFE的夹爪杆。两夹爪杆上均轴向均开有多个用以夹取晶圆的卡槽。其中一夹爪杆连接设于两侧板的下端处，另一夹爪杆位于前者的上方外侧并分别与两侧板相连。该夹具能够与晶圆接触时有缓冲，不容易产生隐裂和破片，同时采用两个夹爪杆，与晶圆为点接触，接触面少，减少污染概率，有超洁净传输的功能。

天眼查数据显示，江苏启微半导体设备有限公司成立日期2017年3月30日，法定代表人宋莹瑛，所属行业为专用设备制造业，企业规模为小型，注册资本35500万人民币，实缴资本35500万人民币，注册地址为启东市牡丹江西路2888号。江苏启微半导体设备有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目11次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息148条，拥有行政许可20个。

江苏启微半导体设备有限公司近期专利情况如下：

至纯科技是国内高纯工艺领域领先企业，主营半导体制程相关设备与服务，具备全产业链布局优势。公司成立于2000年11月13日，2017年1月13日于上海证券交易所上市，注册及办公所在地均为上海市。

公司主营业务覆盖半导体制程设备、工艺支持设备的研发生产销售，以及衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务，申万行业分类为电子-半导体-半导体设备，同时归属于半导体设备、先进封装、大基金概念板块。

2026年三季度，至纯科技实现营业收入16.41亿元，在15家半导体设备行业样本企业中排名第4，高于行业平均13.73亿元、行业中位数6.74亿元，同期行业营收前两位分别为长川科技59.42亿元、富创精密38亿元；当期公司净利润为-3.26亿元，在15家行业样本企业中排名第15，低于行业平均2.21亿元、行业中位数9145.29万元，同期行业净利润前两位分别为长川科技17.84亿元、强一股份3.72亿元。

上海至纯洁净系统科技股份有限公司近期专利情况如下：