数据显示，10月23日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回1333.7万元，位居当日股票ETF净流出排名67/1367。最新规模16亿元，前一日规模15.67亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.85%。
近5日，富国中证芯片产业ETF(516640)遭净赎回3386.5万元，位居股票ETF净流出排名第96/1367。近10日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购254.98万元，位居股票ETF净流入排名第563/1367。近20日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购8629.04万元，位居股票ETF净流入排名第185/1367。
富国中证芯片产业ETF（516640）成立于2021年8月19日，基金全称为富国中证芯片产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为富国中证芯片产业ETF。该基金管理费率每年0.15%，托管费率每年0.05%。富国中证芯片产业ETF（516640）跟踪标的指数为芯片产业（H30007）。
规模方面，截止10月23日，富国中证芯片产业ETF（516640）最新份额为13.78亿份，最新规模为16亿元。回顾2025年12月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）份额为13.14亿份，规模为13.94亿元。即该基金今年以来份额增加4.87%，规模增加14.80%。
流动性方面，截止10月23日，富国中证芯片产业ETF（516640）近20个交易日累计成交金额21.01亿元，日均成交金额1.05亿元；今年以来，193个交易日，累计成交金额311.89亿元，日均成交金额1.62亿元。
富国中证芯片产业ETF（516640）现任基金经理为张圣贤。张圣贤自2021年8月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益16.12%。
最新定期报告显示，富国基金（516640）重仓股包括兆易创新、寒武纪、北方华创、澜起科技、中微公司、海光信息、中芯国际、佰维存储、江波龙、拓荆科技，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 603986 | 兆易创新 | 8.95% | 27.35万 | 2.23亿 |
| 688256 | 寒武纪 | 8.33% | 13.01万 | 2.08亿 |
| 002371 | 北方华创 | 6.43% | 18.10万 | 1.60亿 |
| 688008 | 澜起科技 | 5.94% | 47.76万 | 1.48亿 |
| 688012 | 中微公司 | 5.77% | 30.71万 | 1.44亿 |
| 688041 | 海光信息 | 5.77% | 38.83万 | 1.44亿 |
| 688981 | 中芯国际 | 5.41% | 84.91万 | 1.35亿 |
| 688525 | 佰维存储 | 3.05% | 15.37万 | 7605.98万 |
| 301308 | 江波龙 | 3.00% | 10.61万 | 7467.32万 |
| 688072 | 拓荆科技 | 2.69% | 8.06万 | 6703.92万 |
跟踪芯片产业（H30007）的ETF包括易方达中证芯片产业ETF（516350）、芯片ETF基金（159599）、富国中证芯片产业ETF（516640）、天弘中证芯片产业ETF（159310）、汇添富中证芯片产业ETF（516920）等，规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261023 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261023 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 516350 | 易方达中证芯片产业ETF | 18.91 | 1.09 | 0.05 | 0.07 | 1.41 | 易方达基金 |
| 159599 | 芯片ETF基金 | 17.85 | 1.20 | -0.06 | 0.14 | 2.29 | 东财基金 |
| 516640 | 富国中证芯片产业ETF | 16.00 | 1.02 | -0.13 | -0.34 | 0.98 | 富国基金 |
| 159310 | 天弘中证芯片产业ETF | 11.67 | 0.15 | -0.02 | -0.02 | 0.28 | 天弘基金 |
| 516920 | 汇添富中证芯片产业ETF | 5.85 | 0.31 | 0.03 | 0.03 | 0.44 | 汇添富基金 |
| 159560 | 景顺长城中证芯片产业ETF | 3.83 | 0.18 | -0.03 | -0.08 | 0.29 | 景顺长城基金 |
