数据显示，10月21日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购238.09万元，位居当日股票ETF净流入排名251/1365。最新规模70.64亿元，前一日规模71.36亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为0.03%。
近5日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)遭净赎回386.67万元，位居股票ETF净流出排名第258/1365。近10日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购2666.2万元，位居股票ETF净流入排名第244/1365。近20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF(562590)获净申购1.28亿元，位居股票ETF净流入排名第126/1365。
华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）成立于2023年10月9日，基金全称为华夏中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止10月21日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）最新份额为90.05亿份，最新规模为70.64亿元。回顾2025年12月31日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）份额为4.9亿份，规模为7.91亿元。即该基金今年以来份额增加1739.02%，规模增加792.43%。
流动性方面，截止10月21日，华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）近20个交易日累计成交金额84.64亿元，日均成交金额4.23亿元；今年以来，191个交易日，累计成交金额816.22亿元，日均成交金额4.27亿元。
华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）现任基金经理为单宽之。单宽之自2024年6月11日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益158.11%。
最新定期报告显示，华夏基金（562590）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 15.09% | 267.91万 | 12.55亿 |
| 002371 | 北方华创 | 13.35% | 125.52万 | 11.10亿 |
| 300604 | 长川科技 | 6.56% | 159.78万 | 5.46亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 6.30% | 62.98万 | 5.24亿 |
| 688120 | 华海清科 | 5.40% | 139.31万 | 4.49亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 4.52% | 87.37万 | 3.76亿 |
| 300666 | 江丰电子 | 3.39% | 76.60万 | 2.82亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 3.16% | 49.99万 | 2.63亿 |
| 688037 | 芯源微 | 3.03% | 57.33万 | 2.52亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 2.82% | 588.24万 | 2.35亿 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261021 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261021 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 345.85 | 25.60 | -1.64 | 5.36 | 3.07 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 166.97 | 11.64 | -0.34 | 0.51 | 6.34 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 102.17 | 5.40 | -0.64 | -0.56 | 5.39 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 70.64 | 4.06 | 0.02 | -0.04 | 3.57 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 23.91 | 1.45 | 0.0000 | 0.06 | -0.39 | 万家基金 |
