证券时报记者 阮润生
半导体设备是我国半导体产业中长期面临的“卡脖子”环节。国产半导体设备突围之路走到了哪一步？今年的湾芯展上，一批国产半导体设备、材料、工具等新品集中亮相，成为观察行业最新进展的绝佳窗口。
国产设备发力高端化
伴随自主可控不断深化，国产设备正持续向高端领域突破。
“近年来，国产半导体设备迎来难得的机遇窗口期。”有半导体设备厂商人士向证券时报记者表示，面临外部限制，国产设备以前是先解决有无问题，“现在是到了‘啃硬骨头’阶段，解决高端化的问题，下一步希望有机会与海外厂商PK。”
微导纳米副总经理周建东介绍，国产设备企业发展不能依赖国产化身份获取市场，而应立足开放视野，打磨设备与工艺，给客户选择的理由。
本次湾芯展上，国产半导体刻蚀设备龙头中微公司推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备。据介绍，中微公司五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备，未来持续拓宽产品矩阵，将覆盖包括刻蚀、薄膜、湿法和量检测设备等60%以上的高端半导体设备市场，以及70%以上的先进封装设备市场。
华海清科发布中束流离子注入机产品，向着关键设备国产化持续攻坚；微导纳米推出全新的iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
电科装备发布Venus（金星）6系列先进封装量检测装备，为国内首台可同时对半导体先进封装工艺——大尺寸玻璃基板TGV（玻璃通孔）和RDL（再分布层）进行多流程同步量检测的设备。
拓荆科技发布了里程碑级非晶碳薄膜沉积技术。
在化合物半导体领域，国产厂商也积极推出新方案。方正微电子在2026湾芯展推出SiC DIP 32功率模块。另外，长飞先进在展会期间发布高性能SiC MOSFET系列芯片（含8毫欧产品），并同步推出自主研发的嵌入式PCB功率模块，引入先进互联工艺。
长飞先进总裁陈重国介绍，除新能源汽车市场持续渗透外，碳化硅今年开始拓展到消费电子领域；同时，AI数据中心对高压直流供电的需求带来新的增长点，碳化硅在固态变压器领域也开始进入技术储备。
共建产业生态
对国产半导体设备、材料厂商而言，实现晶圆厂等客户的规模化导入与实际应用，是技术迭代的关键。
“国产靶材验证导入周期久，甚至会长达一两年。”欧莱新材副总经理文雅向记者介绍，非常感谢国产厂商给予验证的机会，公司在12英寸铜靶上，打通从材料制备到变形加工环节的自主可控，最终实现不输于进口靶材甚至优于进口靶材的效果。
半导体工具端，万里眼在2025湾芯展全球首发90GHz超高速实时示波器，补齐国内超高速电信号测试短板。本届湾芯展上，公司展出五大方案，覆盖芯片、光模块、射频、智算网络全链路测试。公司CEO刘桑向记者介绍，随着24G、56G、112G等速率标准的广泛应用，国内客户对相关检测仪器的需求日益增加，越来越多的客户愿意将国产仪器与国际品牌放在同台竞争的地位，并给予应用机会，共同挖掘新的价值点。
多位业内人士向记者表示，今年明显感受到国产晶圆厂加大了对国产设备、材料的验证力度。
据了解，过往国产设备在晶圆厂实际利用率偏低，验证导入周期长，而今年情况得到很大改观，不少机台利用率已经达到80%甚至90%，过往持续数月的验证导入周期，现在最快能压缩到一个月。
另外，随着半导体行业景气度持续攀升，产能扩产，半导体设备到货周期拉长。有半导体设备厂商介绍，以前公司交货周期大约两个月，现在需要等五个月，“我们现场参展的设备都没来得及完全装好，就拉来了”。
也有厂商表示，当前行业内部竞争激烈。在今年湾芯展上，不少设备展品的模型上挂着“禁止拍照”的提示，以防被破解机密。
为建设良好的产业生态，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在湾芯展开幕式上宣布《半导体产业生态共建倡议》，呼吁半导体产业要坚持“科技创新、产业创新、发展方式创新、体制机制创新”，坚持“市场导向，需求驱动和应用牵引”“强化企业科技创新的主导地位”，坚持“人才工作机制创新”，坚持“金融创新”产融协同，共建长期陪伴的资本生态，推动半导体产业高质量、可持续发展。
探索前沿技术创新
据湾芯展组委会介绍，今年全新设立AIE AI基础设施产业生态展，从AI芯片与计算架构、智算中心到高速互联与绿色算力，为“芯算协同”提供一站式展示舞台。同期论坛报告聚焦AI时代下的芯片发展关键问题，从VCSEL光芯片、AI赋能射频芯片设计、人工智能处理器芯片发展、量子智算中心方案、光子芯片产业化发展等多个维度进行前瞻预判。
本次湾芯展上，图灵量子与深圳市智城算网科技有限公司、亚洲算力算网与量子计算科技有限公司正式签署战略合作协议，共建粤港澳大湾区量超智融合算力中心。
图灵量子CEO杨林介绍，量子计算产业化需要深度融入现有经典计算体系。未来，该算力中心将按照“资源接入、平台联调、开放服务、分期扩展”路径推进，面向科研机构、企业及开发者开放量子—经典混合计算能力，推动量子算力与产业场景融合，助力粤港澳大湾区构建多元融合的算力供给体系，为下一代计算体系发展探索产业化路径。
国家算力建设层面，算力建设重心也将面临调整和升级。
光明实验室大湾区昇腾算力应用创新研究院首席科学家黄哲学在演讲中介绍，我国多层次算力网络框架基本成型，国产软硬件生态布局稳步起步。不过，国内AI基础设施面临多维度系统性短板，包括核心软硬件生态不足、算力布局结构失衡、跨区域协同联动不足、高质量数据供给不足、高端复合型人才短缺等问题。
“未来五年国内算力建设重点不是简单扩大规模，而是全面提升有效算力、生态成熟度和安全可控能力，支撑我国从AI应用大国迈向AI原生强国。”黄哲学建议，要形成国家算力网与区域算力枢纽协同，推进跨域调度、算电协同、绿色算力与有效算力显著提升。软硬件生态方面，大幅提高国产AI基础设施成熟度，突破先进芯片、深度学习框架与开发工具，构建自主可控技术栈；充分释放数据要素价值，建设国家级数据基础制度，推动公共数据开放、高质量数据集与可信流通等。
