10月15日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘跌3.91%，报0.982元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科开盘跌2.02%，中微公司跌5.08%，中科飞测跌3.50%，拓荆科技跌4.59%，华峰测控跌5.23%，芯源微跌3.01%，沪硅产业跌3.80%，盛美上海跌2.22%，安集科技跌5.09%，富创精密跌2.49%。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为104.82%，近一个月回报为-5.58%。
