数据显示，10月13日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回3.19亿元，位居当日股票ETF净流出排名1/1360。最新规模377.69亿元，前一日规模378.99亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.84%。
近5日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回7732.56万元，位居股票ETF净流出排名第35/1360。近10日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回4.93亿元，位居股票ETF净流出排名第6/1360。近20日，国泰中证半导体材料设备主题ETF(159516)遭净赎回4.77亿元，位居股票ETF净流出排名第14/1360。
国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）成立于2023年7月19日，基金全称为国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为国泰中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止10月13日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）最新份额为608.69亿份，最新规模为377.69亿元。回顾2025年12月31日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）份额为58.53亿份，规模为90.11亿元。即该基金今年以来份额增加940.04%，规模增加319.14%。
流动性方面，截止10月13日，国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）近20个交易日累计成交金额531.13亿元，日均成交金额26.56亿元；今年以来，185个交易日，累计成交金额5847.31亿元，日均成交金额31.61亿元。
国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）现任基金经理为艾小军。艾小军自2023年7月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益148.20%。
最新定期报告显示，国泰基金（159516）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、拓荆科技、华海清科、中科飞测、江丰电子、华峰测控、芯源微、沪硅产业，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 15.10% | 1423.61万 | 66.68亿 |
| 002371 | 北方华创 | 13.34% | 665.91万 | 58.90亿 |
| 300604 | 长川科技 | 6.46% | 836.91万 | 28.54亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 6.43% | 341.29万 | 28.39亿 |
| 688120 | 华海清科 | 5.49% | 752.69万 | 24.25亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 4.52% | 463.94万 | 19.95亿 |
| 300666 | 江丰电子 | 3.37% | 404.10万 | 14.90亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 3.14% | 263.93万 | 13.86亿 |
| 688037 | 芯源微 | 3.06% | 307.60万 | 13.51亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 2.83% | 3134.16万 | 12.50亿 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20261013 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20261013 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 377.69 | 28.07 | -3.19 | 1.40 | -1.91 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 186.12 | 12.27 | 0.60 | 0.24 | 2.12 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 114.60 | 5.62 | 0.48 | 1.20 | -0.24 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 78.62 | 4.16 | -0.15 | -0.01 | -0.42 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 26.41 | 1.57 | -0.15 | -0.31 | -2.43 | 万家基金 |
