数据显示，9月30日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)遭净赎回2290.61万元，位居当日股票ETF净流出排名58/1351。最新规模104.75亿元，前一日规模108.19亿元，当日资金净流出额占前一日规模的比例为0.21%。
近5日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购3875.07万元，位居股票ETF净流入排名第148/1351。近10日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)获净申购2.97亿元，位居股票ETF净流入排名第49/1351。近20日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF(588710)遭净赎回4.62亿元，位居股票ETF净流出排名第27/1351。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）成立于2025年5月26日，基金全称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。
规模方面，截止9月30日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）最新份额为111.25亿份，最新规模为104.75亿元。回顾2025年12月31日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）份额为5.7亿份，规模为8.86亿元。即该基金今年以来份额增加1850.72%，规模增加1081.98%。
流动性方面，截止9月30日，华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）近20个交易日累计成交金额197.4亿元，日均成交金额9.87亿元；今年以来，181个交易日，累计成交金额1427.05亿元，日均成交金额7.88亿元。
华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）现任基金经理为李沐阳。李沐阳自2025年5月26日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益182.48%。
最新定期报告显示，华泰柏瑞基金（588710）重仓股包括华海清科、中微公司、中科飞测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、安集科技、盛美上海、富创精密，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688120 | 华海清科 | 10.38% | 182.28万 | 5.87亿 |
| 688012 | 中微公司 | 9.98% | 120.43万 | 5.64亿 |
| 688361 | 中科飞测 | 8.58% | 112.81万 | 4.85亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 6.85% | 47.01万 | 3.88亿 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.15% | 66.40万 | 3.48亿 |
| 688037 | 芯源微 | 5.87% | 75.61万 | 3.32亿 |
| 688126 | 沪硅产业 | 5.55% | 787.25万 | 3.14亿 |
| 688019 | 安集科技 | 5.14% | 85.68万 | 2.91亿 |
| 688082 | 盛美上海 | 5.12% | 67.06万 | 2.90亿 |
| 688409 | 富创精密 | 4.66% | 86.12万 | 2.64亿 |
跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260930 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260930 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 588170 | 华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF | 419.46 | 45.22 | -2.49 | 3.07 | 18.42 | 华夏基金 |
| 588710 | 华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF | 104.75 | 9.80 | -0.23 | 2.00 | -2.81 | 华泰柏瑞基金 |
| 589020 | 鹏华科创板半导体材料设备主题ETF | 50.83 | 6.51 | 0.36 | -0.39 | 1.38 | 鹏华基金 |
