9月29日，截止午间收盘，科创半导体设备ETF鹏华（589020）跌0.26%，报1.136元，成交额3.71亿元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科截止午盘跌2.19%，中微公司涨0.02%，中科飞测跌0.78%，拓荆科技涨0.04%，华峰测控涨1.29%，芯源微跌0.47%，沪硅产业跌0.92%，盛美上海涨3.26%，安集科技跌1.11%，富创精密涨0.37%。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为128.18%，近一个月回报为-6.31%。
