数据显示，9月28日，华夏中证装备产业ETF(516320)获净申购83.88万元，位居当日股票ETF净流入排名496/1348。最新规模7749.72万元，前一日规模7821.73万元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为1.07%。
近5日，华夏中证装备产业ETF(516320)获净申购345.7万元，位居股票ETF净流入排名第332/1348。近10日，华夏中证装备产业ETF(516320)获净申购170.25万元，位居股票ETF净流入排名第369/1348。近20日，华夏中证装备产业ETF(516320)获净申购442.07万元，位居股票ETF净流入排名第359/1348。
华夏中证装备产业ETF(516320)已连续4日资金获净申购，区间净流入额345.7万元。
华夏中证装备产业ETF（516320）成立于2021年5月27日，基金全称为华夏中证装备产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏中证装备产业ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏中证装备产业ETF（516320）跟踪标的指数为装备产业（H11054）。
规模方面，截止9月28日，华夏中证装备产业ETF（516320）最新份额为9258.93万份，最新规模为7749.72万元。回顾2025年12月31日，华夏中证装备产业ETF（516320）份额为8258.93万份，规模为8310.96万元。即该基金今年以来份额增加12.11%，规模减少6.75%。
流动性方面，截止9月28日，华夏中证装备产业ETF（516320）近20个交易日累计成交金额7033.74万元，日均成交金额351.69万元；今年以来，179个交易日，累计成交金额10.47亿元，日均成交金额584.71万元。
华夏中证装备产业ETF（516320）现任基金经理为颜昊轩。颜昊轩自2026年8月13日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-13.02%。
最新定期报告显示，华夏基金（516320）重仓股包括宁德时代、阳光电源、中国船舶、潍柴动力、汇川技术、大族激光、特变电工、思源电气、三一重工、亿纬锂能，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 300750 | 宁德时代 | 9.77% | 2.10万 | 824.53万 |
| 300274 | 阳光电源 | 4.61% | 2.45万 | 389.36万 |
| 600150 | 中国船舶 | 3.05% | 7.62万 | 257.47万 |
| 000338 | 潍柴动力 | 2.93% | 9.07万 | 247.16万 |
| 300124 | 汇川技术 | 2.51% | 3.19万 | 211.71万 |
| 002008 | 大族激光 | 2.47% | 1.39万 | 208.65万 |
| 600089 | 特变电工 | 2.24% | 8.41万 | 189.16万 |
| 002028 | 思源电气 | 2.15% | 1.05万 | 181.65万 |
| 600031 | 三一重工 | 2.05% | 10.01万 | 172.97万 |
| 300014 | 亿纬锂能 | 1.97% | 2.56万 | 166.42万 |
跟踪装备产业（H11054）的ETF包括易方达中证装备产业ETF（562910）、华夏中证装备产业ETF（516320），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260928 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260928 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 562910 | 易方达中证装备产业ETF | 2.34 | 0.07 | 0.04 | 0.09 | 0.11 | 易方达基金 |
| 516320 | 华夏中证装备产业ETF | 0.77 | 0.04 | 0.01 | 0.03 | 0.04 | 华夏基金 |
