9月29日，芯源微盘中下跌2.11%，截至09:50，报333.00元/股，成交2.62亿元，换手率0.38%，总市值672.99亿元。
资金流向方面，主力资金净流出406.66万元，特大单买入865.34万元，占比3.30%，卖出1062.84万元，占比4.05%；大单买入6988.93万元，占比26.64%，卖出7198.09万元，占比27.44%。
芯源微今年以来股价涨124.28%，近5个交易日跌6.46%，近20日跌10.00%，近60日跌10.18%。
今年以来芯源微已经3次登上龙虎榜，最近一次登上龙虎榜为5月12日，当日龙虎榜净买入4.69亿元；买入总计8.07亿元 ，占总成交额比21.49%；卖出总计3.38亿元 ，占总成交额比9.00%。
资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司位于辽宁省沈阳市浑南区彩云路1号，成立日期2002年12月17日，上市日期2019年12月16日，公司主营业务涉及半导体专用设备的研发、生产和销售。主营业务收入构成为：电子工艺装备96.42%，产品备件2.44%，其他(补充)1.14%。
芯源微所属申万行业为：电子-半导体-半导体设备。所属概念板块包括：中芯国际概念、HBM概念、LED、OLED、大基金二期等。
截至6月30日，芯源微股东户数1.89万，较上期增加21.44%；人均流通股10655股，较上期减少17.66%。2026年1月-6月，芯源微实现营业收入8.97亿元，同比增长26.47%；归母净利润806.22万元，同比减少49.37%。
分红方面，芯源微A股上市后累计派现1.47亿元。近三年，累计派现5700.60万元。
机构持仓方面，截止2026年6月30日，芯源微十大流通股东中，东方人工智能主题混合A（005844）位居第三大流通股东，持股735.44万股，相比上期增加163.30万股。银华集成电路混合A（013840）位居第四大流通股东，持股636.09万股，相比上期增加220.54万股。南方信息创新混合A（007490）位居第五大流通股东，持股347.02万股，为新进股东。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）位居第六大流通股东，持股328.58万股，相比上期增加7.33万股。国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）位居第七大流通股东，持股307.60万股，相比上期减少60.06万股。工银新兴制造混合A（009707）位居第八大流通股东，持股266.46万股，相比上期减少53.37万股。嘉实上证科创板芯片ETF（588200）位居第九大流通股东，持股243.34万股，相比上期减少95.03万股。香港中央结算有限公司退出十大流通股东之列。
