恒运昌真空申请增益定标法相关专利，提高射频电源增益定标精度，减少干扰

6月10日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质”的专利。申请公布号为CN122172062A，申请号为CN202610655279.X，申请公布日期为2026年6月9日，申请日期为2026年5月13日，发明人林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿，专利代理机构北京惟盛达知识产权代理有限公司，专利代理师何卓坚，分类号G01R31/40、G01R21/00、G01R27/02。

专利摘要显示，本申请涉及射频电源技术领域，公开一种增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质。该增益定标方法包括：获取多个射频功率测量值，射频功率测量值为处于开环状态的射频电源在多个负载阻抗值下的输出功率测量值；基于负载阻抗值与射频功率测量值，在反射系数复平面内进行二维插值拟合，得到连续功率分布；基于连续功率分布，在反射系数复平面内进行最小射频功率值选取，得到目标最小射频功率值；基于目标最小射频功率值、目标最小射频功率值对应的负载阻抗值以及预设的特征阻抗值，计算射频电源的增益。本申请实施例可以提高射频电源增益定标的精度，减少环境噪声和微小阻抗波动的影响。

恒运昌于2013年3月19日成立，2026年1月28日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为广东省深圳市。该公司是国内等离子体电源领域的佼佼者，专注等离子体电源相关产品研发生产，技术实力强，具备全产业链优势。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置等产品的研发、生产、销售及技术服务，还引进相关核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。公司所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及次新股、新股与次新股、专精特新等概念板块。

2025年，恒运昌实现营业收入5.29亿元，在行业25家公司中排名第21，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，也低于行业平均数41.44亿元和中位数14.26亿元。主营业务中，自研产品收入4.15亿元，占比78.38%；引进产品收入8661.32万元，占比16.36%；技术服务收入2788.26万元，占比5.27%。净利润方面，2025年为1.14亿元，行业排名15/25，同样远低于第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：