奕斯伟材料、奕斯伟硅片申请外延片生长相关专利，构建循环工艺，调参数提升外延片质量

6月10日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片”的专利。申请公布号为CN122169208A，申请号为CN202610384651.8，申请公布日期为2026年6月9日，申请日期为2026年3月26日，发明人梁鹏欢、张海洋，专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限公司，专利代理师秦卫中，分类号C30B25/02、C30B25/08、C30B25/16、C30B25/12、C30B29/06、C23C16/44、C23C16/52。

专利摘要显示，本发明提供了一种外延片生长方法、外延片生长设备以及外延片，该方法包括：构建循环生产工艺，循环生产工艺包括交替进行的外延生长工艺和清洁工艺，清洁工艺包括对反应腔室执行高温清洁处理；外延生长工艺包括在完成清洁工艺后，将抛光片加载至基座上并进行外延生长；调节循环生产工艺的工艺参数，以改变执行清洁工艺后的反应腔室的温度，使得进入清洁工艺后的反应腔室的抛光片在加载过程中，其抛光片背面与支撑部件的接触区域和非接触区域之间的温差处于目标温差范围内，并得到目标工艺参数；基于目标工艺参数对应的循环生产工艺，控制外延生长设备对多个抛光片进行外延生长。本发明能够提升外延片的产品质量。

西安奕材于2016年3月16日成立，于2025年10月28日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为陕西省西安市。该公司是国内专注12英寸硅片研发、生产与销售的企业，在半导体材料领域具备一定技术实力。

西安奕材所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料，涉及大硅片、芯片概念、半导体等概念板块，主营业务专注于12英寸硅片的研发、生产和销售。

2025年，西安奕材营业收入26.49亿元，在行业26家公司中排名第6，行业第一名有研新材95.42亿元，第二名雅克科技86.11亿元，行业平均数19.89亿元，中位数11.14亿元。其主营业务构成中，测试片10.42亿元占比39.33%，抛光片9.84亿元占比37.15%，外延片6.1亿元占比23.03%，其中高端测试片4.61亿元占比17.39%，其他（补充）1315万元占比0.50%。净利润方面，2025年为 -7.38亿元，在行业中排名25/26，行业第一名雅克科技10.3亿元，第二名江丰电子4.14亿元，行业平均数3265.85万元，中位数8178.71万元。

西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下：

天眼查数据显示，西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日，法定代表人刘还平，所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业，企业规模为中型，注册资本660000万人民币，实缴资本660000万人民币，注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业，参与招投标项目380次，财产线索方面有商标信息0条，专利信息1075条，拥有行政许可54个。

西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下：