【财经网讯】6月3日，浙江晶盛机电股份有限公司（证券代码：300316，简称"晶盛机电"）发布公告称，公司董事会审议通过了《关于改变部分募集资金用途的议案》，计划将原计划投入"12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目"的部分募集资金及已终止项目的剩余资金合计8.61亿元，转投两个半导体装备零部件新项目，以进一步完善公司在半导体产业链的战略布局。
募集资金调整方案
公告显示，晶盛机电本次募集资金用途调整主要涉及三个方面：一是将"12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目"的募集资金投资总额从5.64亿元调整为1.78亿元；二是终止"年产80台套半导体材料抛光及减薄设备生产制造项目"；三是将上述两个项目的剩余募集资金8.61亿元（含利息及理财收益）全部投入两个新项目。
| 序号 | 项目名称 | 调整前承诺投入募集资金(万元) | 调整后承诺投入募集资金(万元) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目 | 56,370.00 | 17,800.00 | 调整投资额 |
| 2 | 年产80台套半导体材料抛光及减薄设备生产制造项目 | 43,210.00 | 2,956.46 | 已终止 |
| --- | --- | --- | --- | --- |
| 3 | 半导体装备精密零部件智能化生产项目 | - | 66,131.00 | 新项目 |
| 4 | 高端半导体设备碳化硅零部件产业化项目 | - | 20,010.00 | 新项目 |
| 5 | 补充流动资金 | 42,022.70 | 42,022.70 | |
| 合计 | 141,602.70 | 148,920.16 |
调整原因：产业链成熟与成本优化
公司表示，调整募集资金用途主要基于国内半导体产业链发展的实际情况。一方面，随着国产半导体装备性能持续提升并达到国际先进水平，公司相关设备已实现国内头部客户的批量销售；另一方面，设备供应链逐步实现国产化，规模效应使得相关设备制造成本较之前有所下降。同时，部分进口检测设备改为采购国产设备，进一步节省了项目投入成本。
据了解，原"12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目"截至2025年12月31日已使用募集资金8,597.14万元，主要为洁净室装修及设备投入。调整后，该项目仍将覆盖多场景、多工序、不同指标的试验检测能力，在不改变项目预期效果的同时，大幅节省项目投入成本。
新项目聚焦半导体零部件国产化
根据公告，公司拟将调整后的8.61亿元募集资金投入以下两个新项目：
半导体装备精密零部件智能化生产项目
该项目总投资6.68亿元，拟投入募集资金6.61亿元，由公司及全资子公司浙江晶鸿精密机械制造有限公司共同实施。项目将建设年产1,410套半导体装备精密零部件的产能，包括框架类、腔体类、结构件类及超精密类零件。
| 序号 | 投资内容 | 投资金额(万元) | 募集资金金额(万元) |
|---|---|---|---|
| 1 | 土地购置费 | 2,000.00 | 2,000.00 |
| 2 | 土建工程 | 12,798.00 | 12,798.00 |
| 3 | 装修工程 | 7,956.00 | 7,956.00 |
| 4 | 设备购置及安装费 | 43,377.00 | 43,377.00 |
| 5 | 铺底流动资金 | 700.00 | - |
| 合计 | 66,831.00 | 66,131.00 |
项目预计建设期2年，达产后年增销售收入4.91亿元，年增净利润5,187万元，财务内部收益率11%（税后），投资回收期为7.41年。
高端半导体设备碳化硅零部件产业化项目
该项目总投资2.06亿元，拟投入募集资金2.00亿元，由全资子公司浙江晶诚新材料有限公司实施。项目将形成年产碳化硅外延炉石墨腔体及配套耗材、硅外延炉石墨基座、碳化硅氧化炉专用炉管、刻蚀设备专用刻蚀环共计20,350套/件的产能。
项目预计建设期2年，达产后年增销售收入2.47亿元，年增净利润2,741万元，税后财务内部收益率14.87%，税后投资回收期为4.96年。
战略意义与市场前景
公告指出，半导体零部件作为半导体设备产业链的基石，随着全球晶圆厂资本性开支持续提升，需求显著增加。根据QYResearch数据，2025年全球半导体设备用零部件市场规模约为463.18亿美元，预计到2032年将增长至756.77亿美元，年复合增长率约6.9%。
公司表示，本次募集资金用途调整符合公司战略发展规划，可进一步增强公司产品配套能力与综合竞争力，有利于突破核心零部件的供应链封锁，形成自主可控的国产化技术，助力国产半导体装备的性能提升和产业化进程。
本次改变募集资金用途事项尚需提交公司股东会审议。公司将在股东会审议通过后，以募集资金向全资子公司（实施主体）增资，并与子公司及其募集资金开户银行、保荐机构签署募集资金四方监管协议。
保荐机构兴业证券认为，本次改变部分募集资金用途事项符合公司实际经营需要，有利于提高公司募集资金使用效率，符合公司及全体股东的利益，对该事项无异议。
