5月20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）收盘涨7.55%，成交额2.91亿元。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率。
规模方面，截止5月19日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）最新份额为3.16亿份，最新规模为6.48亿元。回顾2025年12月31日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加29.48%，规模增加118.14%。
流动性方面，截止5月20日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）近20个交易日累计成交金额21.62亿元，日均成交金额1.08亿元。
科创半导体设备ETF鹏华（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益104.79%。
最新定期报告显示，科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股包括拓荆科技、华海清科、中微公司、中科飞测、安集科技、沪硅产业、芯源微、华峰测控、天岳先进、富创精密，持仓占比如下。
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688072 | 拓荆科技 | 10.69% | 14.70万 | 5439.63万 |
| 688120 | 华海清科 | 10.60% | 30.99万 | 5392.73万 |
| 688012 | 中微公司 | 9.90% | 16.44万 | 5037.81万 |
| 688361 | 中科飞测 | 7.85% | 26.27万 | 3994.99万 |
| 688019 | 安集科技 | 7.29% | 14.79万 | 3706.96万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 6.98% | 210.03万 | 3549.57万 |
| 688037 | 芯源微 | 6.64% | 20.17万 | 3379.38万 |
| 688200 | 华峰测控 | 6.13% | 11.86万 | 3117.96万 |
| 688234 | 天岳先进 | 4.33% | 26.90万 | 2203.47万 |
| 688409 | 富创精密 | 3.39% | 19.16万 | 1726.40万 |
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