数据显示，5月18日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)获净申购5222.17万元，位居当日股票ETF净流入排名32/1195。最新规模12.49亿元，前一日规模11.86亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为4.40%。
近5日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)遭净赎回7584.64万元，位居股票ETF净流出排名第158/1195。近10日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)遭净赎回2.28亿元，位居股票ETF净流出排名第113/1195。近20日，万家中证半导体材料设备主题ETF(159327)遭净赎回2.43亿元，位居股票ETF净流出排名第147/1195。
万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）跟踪标的指数为半导体材料设备（931743）。
规模方面，截止5月18日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）最新份额为4.35亿份，最新规模为12.49亿元。回顾2025年12月31日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加41.76%，规模增加122.48%。
流动性方面，截止5月18日，万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）近20个交易日累计成交金额20.74亿元，日均成交金额1.04亿元；今年以来，86个交易日，累计成交金额61.92亿元，日均成交金额7200.54万元。
万家中证半导体材料设备主题ETF（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益55.69%。
最新定期报告显示，万家基金（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、安集科技、江丰电子，持仓占比如下：
| 股票代码 | 股票名称 | 持仓占比 | 持仓股数（股） | 持仓市值（元） |
| 688012 | 中微公司 | 14.72% | 45.75万 | 1.40亿 |
| 002371 | 北方华创 | 12.84% | 27.36万 | 1.22亿 |
| 688072 | 拓荆科技 | 7.31% | 18.82万 | 6962.96万 |
| 300604 | 长川科技 | 6.29% | 49.53万 | 5995.61万 |
| 688120 | 华海清科 | 5.05% | 27.62万 | 4806.18万 |
| 688126 | 沪硅产业 | 3.79% | 213.84万 | 3613.95万 |
| 688361 | 中科飞测 | 3.74% | 23.45万 | 3565.57万 |
| 300346 | 南大光电 | 3.65% | 77.12万 | 3481.03万 |
| 688019 | 安集科技 | 3.47% | 13.17万 | 3302.38万 |
| 300666 | 江丰电子 | 3.46% | 23.68万 | 3296.73万 |
跟踪半导体材料设备（931743）的ETF包括国泰中证半导体材料设备主题ETF（159516）、易方达中证半导体材料设备主题ETF（159558）、广发中证半导体材料设备ETF（560780）、华夏中证半导体材料设备主题ETF（562590）、万家中证半导体材料设备主题ETF（159327），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：
| 代码 | 名称 | 基金规模(亿元) 20260518 | 近1月日均成交额 (亿元) | 净申购(亿元) 20260518 | 近1周净申购 (亿元) | 近1月净申购 (亿元) | 基金公司 |
| 159516 | 国泰中证半导体材料设备主题ETF | 243.92 | 20.41 | 6.35 | 4.28 | -32.46 | 国泰基金 |
| 159558 | 易方达中证半导体材料设备主题ETF | 67.74 | 5.27 | 2.88 | -0.27 | -3.78 | 易方达基金 |
| 560780 | 广发中证半导体材料设备ETF | 42.23 | 2.22 | 0.75 | -0.56 | -5.62 | 广发基金 |
| 562590 | 华夏中证半导体材料设备主题ETF | 31.99 | 2.79 | -0.46 | -0.79 | -2.88 | 华夏基金 |
| 159327 | 万家中证半导体材料设备主题ETF | 12.49 | 1.10 | 0.52 | -0.76 | -2.50 | 万家基金 |
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