奕斯伟材料、奕斯伟硅片申请研磨定盘相关专利,解决定盘沟槽堵塞及相关研磨问题
新浪证券-红岸工作室
5月15日消息,国家知识产权局信息显示,西安奕斯伟材料科技股份有限公司、西安奕斯伟硅片技术有限公司申请一项名为“一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法”的专利。申请公布号为CN122008064A,申请号为CN202610347640.2,申请公布日期为2026年5月12日,申请日期为2026年3月20日,发明人章晓东,专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司,专利代理师尹倩,分类号B24B37/04、B24B37/11、B24B57/02。
专利摘要显示,本公开实施例提供一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法,所述研磨定盘包括:定盘主体,具有相背设置的研磨面和底面,所述研磨面上分布有导流沟槽,在所述底面上开设有若干清洁槽,所述清洁槽贯通至所述研磨面、且与所述导流沟槽相连通;及密封组件,所述密封组件被配置为活动连接至所述定盘主体上,能够在密封状态和非密封状态之间切换;其中,在所述密封状态,所述密封组件封堵所述清洁槽,以在所述底面封闭所述清洁槽;在所述非密封状态,所述密封组件脱离所述清洁槽,以使所述清洁槽完全贯通。本公开的磨定盘及研磨设备、研磨方法可解决定盘沟槽堵塞所导致的研磨效果差,研磨时间变长,定盘寿命降低,沟槽清洁困难等问题。
西安奕材于2016年3月16日成立,2025年10月28日在上海证券交易所上市,注册及办公地址均为陕西省西安市。公司是国内专注12英寸硅片研发生产的企业,在半导体材料领域有一定技术优势。
西安奕材所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体材料,概念板块包含昨日高振幅、昨日高换手、新股与次新股,主营业务是专注于12英寸硅片的研发、生产和销售。
2025年,西安奕材营业收入26.49亿元,行业排名6/26,高于行业平均数19.89亿元和中位数11.14亿元,但远低于第一名有研新材的95.42亿元和第二名雅克科技的86.11亿元。主营业务中,测试片10.42亿元占比39.33%,抛光片9.84亿元占比37.15%,外延片6.1亿元占比23.03%。不过,公司净利润为 -7.38亿元,行业排名25/26,远低于行业平均数3265.85万元和中位数8178.71万元,也不及第一名雅克科技的10.3亿元和第二名江丰电子的4.14亿元。
西安奕斯伟材料科技股份有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 协同控制体微缺陷的直拉硅单晶生长方法、装置及硅晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202610368132.2 | 2026-03-24 | CN122013300A | 2026-05-12 | 毛勤虎 |
| 2 | 一种晶体生长控制方法、装置及单晶硅生长炉 | 发明专利 | 公布 | CN202610346716.X | 2026-03-20 | CN121931598A | 2026-04-28 | 杨文武、宁沛娜 |
| 3 | 一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610347640.2 | 2026-03-20 | CN122008064A | 2026-05-12 | 章晓东 |
| 4 | 抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610345452.6 | 2026-03-20 | CN122008069A | 2026-05-12 | 杨鑫卓 |
| 5 | 晶棒处理设备和晶棒处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610120374.X | 2026-01-28 | CN121945472A | 2026-05-01 | 郭宏雁、黄兆皓 |
| 6 | 硅片刻蚀方法和硅片刻蚀设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202610079762.8 | 2026-01-21 | CN121865865A | 2026-04-14 | 贾志怡 |
| 7 | 控制半导体单晶生长的方法、装置、及晶棒 | 发明专利 | 公布 | CN202512010297.0 | 2025-12-29 | CN121653837A | 2026-03-13 | 杨文武、宁沛娜 |
| 8 | 半导体制造设备,及其尾气处理方法、系统 | 发明专利 | 公布 | CN202512010197.8 | 2025-12-29 | CN121944738A | 2026-05-01 | 杨文武、宁沛娜 |
| 9 | 一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置 | 发明专利 | 公布 | CN202512012667.4 | 2025-12-29 | CN122028669A | 2026-05-12 | 张申申 |
| 10 | 拉晶工艺的功率控制方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511996021.8 | 2025-12-26 | CN121675079A | 2026-03-17 | 杨文武、宁沛娜 |
| 11 | 双面抛光方法及设备、计算设备、介质及抛光晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202511961424.9 | 2025-12-24 | CN122008066A | 2026-05-12 | 潘石、刘还平、白强强、王明 |
| 12 | 一种晶圆的抛光方法以及晶圆 | 发明专利 | 公布 | CN202511956856.0 | 2025-12-23 | CN121941286A | 2026-04-28 | 贾磊、杨新元、王明 |
| 13 | 抛光头组件、化学机械抛光系统及晶圆的制备方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511911677.5 | 2025-12-17 | CN121624982A | 2026-03-10 | 王鹏、许涛、杨启 |
| 14 | 晶圆检测设备和晶圆检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511904874.4 | 2025-12-17 | CN121678673A | 2026-03-17 | 薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓 |
| 15 | 单晶硅棒的生长控制方法、装置、介质以及单晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511905877.X | 2025-12-17 | CN121951677A | 2026-05-01 | 潘浩、崔源进、张鹏举 |
| 16 | 一种晶圆清洁系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511907326.7 | 2025-12-17 | CN121969052A | 2026-05-01 | 康建 |
| 17 | 线切割装置及线切割取样方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511899233.4 | 2025-12-16 | CN121403584A | 2026-01-27 | 王晋飞 |
| 18 | 一种电阻率测试装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511897839.4 | 2025-12-16 | CN121917845A | 2026-04-24 | 贺鹏 |
| 19 | 清洗设备、清洗方法、清洗装置、控制设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511866027.3 | 2025-12-11 | CN121665982A | 2026-03-13 | 张树星、陈海龙、夏新超、左斌 |
| 20 | 一种拉晶装置及拉晶方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511869249.0 | 2025-12-11 | CN121781273A | 2026-04-03 | 闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超 |
| 21 | 一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511869589.3 | 2025-12-11 | CN122016796A | 2026-05-12 | 周淼 |
| 22 | 热场调节装置、单晶炉和热场调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511856243.X | 2025-12-10 | CN121344772A | 2026-01-16 | 黄文洋 |
| 23 | 一种籽晶倾斜检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511855413.2 | 2025-12-10 | CN121366283A | 2026-01-20 | 彭标、孙洪涛 |
| 24 | 一种晶棒切割装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511858998.3 | 2025-12-10 | CN121572470A | 2026-02-27 | 王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩 |
| 25 | 一种砂轮参数确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511854835.8 | 2025-12-10 | CN121580854A | 2026-02-27 | 李彤、兰洵、袁力军、李安杰、张婉婉 |
| 26 | 一种拉晶收尾的控制方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511858477.8 | 2025-12-10 | CN121826878A | 2026-04-10 | 纪天平、彭标、闫龙 |
| 27 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511859289.7 | 2025-12-10 | CN121908854A | 2026-04-21 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 28 | 半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511854133.X | 2025-12-10 | CN121978104A | 2026-05-05 | 李康康 |
| 29 | 缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511842176.6 | 2025-12-09 | CN121969119A | 2026-05-01 | 程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣 |
| 30 | 晶圆检测方法及相关装置 | 发明专利 | 公布 | CN202511837367.3 | 2025-12-08 | CN121665979A | 2026-03-13 | 吕天爽 |
| 31 | 晶棒长度的确定方法、装置、介质及晶体生长系统 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840689.3 | 2025-12-08 | CN121874923A | 2026-04-17 | 赵亮 |
| 32 | 一种单片清洗装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840630.4 | 2025-12-08 | CN121888884A | 2026-04-17 | 左斌、陈海龙、王颖、张树星、夏新超 |
| 33 | 硅片研磨的生产系统、控制方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840651.6 | 2025-12-08 | CN121870626A | 2026-04-17 | 王琛、张宁轩、黄兆皓 |
| 34 | 硅生长轴连接装置、硅生长系统及埚转偏差协同补偿方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840788.1 | 2025-12-08 | CN121874924A | 2026-04-17 | 彭标、孙洪涛 |
| 35 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840660.5 | 2025-12-08 | CN121925097A | 2026-04-24 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 36 | 单晶硅的拉晶控制方法、装置及相关设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511826516.6 | 2025-12-05 | CN121538725A | 2026-02-17 | 杨松、赵亮 |
| 37 | 绝缘体上硅衬底及其制备方法、射频绝缘体上硅晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511830184.9 | 2025-12-05 | CN121908606A | 2026-04-21 | 张博、兰洵、车宇航、王文娟、刘贵浩 |
| 38 | 晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511815254.3 | 2025-12-04 | CN121604750A | 2026-03-03 | 党快乐、兰洵 |
| 39 | 一种双面抛光方法、双面抛光设备及硅片 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511817716.5 | 2025-12-04 | CN121870547A | 2026-04-17 | 郭宏雁、陈祖庆 |
| 40 | 硅片切割线痕判定方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511772774.0 | 2025-11-28 | CN121374876A | 2026-01-23 | 王黎昱、陈曦鹏 |
| 41 | 一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511770029.2 | 2025-11-28 | CN121535652A | 2026-02-17 | 王俊夫 |
| 42 | 晶圆处理方法及装置、电子设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511775486.0 | 2025-11-28 | CN121548286A | 2026-02-17 | 张城旗、苏艳宁、王黎昱 |
| 43 | 晶圆检测与标识的设备、方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511775182.4 | 2025-11-28 | CN121865898A | 2026-04-14 | 李乐杰、张钊、范东方、陈建勇 |
| 44 | 半导体晶圆及其制备方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511779796.X | 2025-11-28 | CN121865669A | 2026-04-14 | 刘贵浩、兰洵、车宇航、王文娟、张博 |
| 45 | 一种用于晶棒生长的控制装置、方法以及拉晶炉 | 发明专利 | 公布 | CN202511762453.2 | 2025-11-27 | CN121556142A | 2026-02-24 | 蔡媛媛 |
| 46 | 化学机械抛光设备及抛光方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755819.3 | 2025-11-27 | CN121696842A | 2026-03-20 | 王泽康 |
| 47 | 改善晶圆平坦度的方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511766166.9 | 2025-11-27 | CN121756221A | 2026-03-31 | 习恒 |
| 48 | 一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511761617.X | 2025-11-27 | CN121843479A | 2026-04-10 | 郝宁、程辰辰 |
| 49 | 一种抛光垫及晶圆抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511766031.2 | 2025-11-27 | CN121821202A | 2026-04-10 | 王俊夫、柴朝军 |
| 50 | 硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511767321.9 | 2025-11-27 | CN121888926A | 2026-04-17 | 张申申 |
天眼查数据显示,西安奕斯伟硅片技术有限公司成立日期2018年2月9日,法定代表人刘还平,所属行业为计算机、通信和其他电子设备制造业,企业规模为中型,注册资本660000万人民币,实缴资本660000万人民币,注册地址为陕西省西安市高新区西沣南路1888号。西安奕斯伟硅片技术有限公司共对外投资了0家企业,参与招投标项目379次,财产线索方面有商标信息0条,专利信息1067条,拥有行政许可54个。
西安奕斯伟硅片技术有限公司近期专利情况如下:
| 序号 | 专利名称 | 专利类型 | 法律状态 | 申请号 | 申请日期 | 公开(公告)号 | 公开(公告)日期 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一种研磨定盘及研磨设备、研磨方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610347640.2 | 2026-03-20 | CN122008064A | 2026-05-12 | 章晓东 |
| 2 | 抛光机、抛光垫检测方法、装置、检测设备、产品及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202610345452.6 | 2026-03-20 | CN122008069A | 2026-05-12 | 杨鑫卓 |
| 3 | 晶棒处理设备和晶棒处理方法 | 发明专利 | 公布 | CN202610120374.X | 2026-01-28 | CN121945472A | 2026-05-01 | 郭宏雁、黄兆皓 |
| 4 | 一种硅片缺陷处理方法、表面处理液、硅片及清洗装置 | 发明专利 | 公布 | CN202512012667.4 | 2025-12-29 | CN122028669A | 2026-05-12 | 张申申 |
| 5 | 晶圆检测设备和晶圆检测方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511904874.4 | 2025-12-17 | CN121678673A | 2026-03-17 | 薛博涛、陈光林、刘玉乾、黄兆皓 |
| 6 | 一种电阻率测试装置及方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511897839.4 | 2025-12-16 | CN121917845A | 2026-04-24 | 贺鹏 |
| 7 | 一种拉晶装置及拉晶方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511869249.0 | 2025-12-11 | CN121781273A | 2026-04-03 | 闫龙、张鹏举、吴超、纪天平、李智超 |
| 8 | 一种边缘缺陷的检测方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511869589.3 | 2025-12-11 | CN122016796A | 2026-05-12 | 周淼 |
| 9 | 热场调节装置、单晶炉和热场调节方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511856243.X | 2025-12-10 | CN121344772A | 2026-01-16 | 黄文洋 |
| 10 | 一种晶棒切割装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511858998.3 | 2025-12-10 | CN121572470A | 2026-02-27 | 王磊磊、霍慧文、刘士靖、刘倩 |
| 11 | 一种拉晶收尾的控制方法及系统 | 发明专利 | 公布 | CN202511858477.8 | 2025-12-10 | CN121826878A | 2026-04-10 | 纪天平、彭标、闫龙 |
| 12 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511859289.7 | 2025-12-10 | CN121908854A | 2026-04-21 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 13 | 半导体设备的检验方法、装置、设备、系统及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511854133.X | 2025-12-10 | CN121978104A | 2026-05-05 | 李康康 |
| 14 | 缺陷晶圆的拦截方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511842176.6 | 2025-12-09 | CN121969119A | 2026-05-01 | 程瑜、贺鑫、胡一洲、万珣 |
| 15 | 硅片研磨的生产系统、控制方法和装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840651.6 | 2025-12-08 | CN121870626A | 2026-04-17 | 王琛、张宁轩、黄兆皓 |
| 16 | 一种晶圆的检测方法、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511840660.5 | 2025-12-08 | CN121925097A | 2026-04-24 | 史铁柱、庞鲁、王龙 |
| 17 | 一种外延片边缘形貌补偿型晶圆双面抛光装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511770029.2 | 2025-11-28 | CN121535652A | 2026-02-17 | 王俊夫 |
| 18 | 晶圆检测与标识的设备、方法及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511775182.4 | 2025-11-28 | CN121865898A | 2026-04-14 | 李乐杰、张钊、范东方、陈建勇 |
| 19 | 一种基于重力自适应限位的晶圆边缘刻蚀装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511761617.X | 2025-11-27 | CN121843479A | 2026-04-10 | 郝宁、程辰辰 |
| 20 | 一种抛光垫及晶圆抛光方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511766031.2 | 2025-11-27 | CN121821202A | 2026-04-10 | 王俊夫、柴朝军 |
| 21 | 硅片线痕检测方法、装置、存储介质及电子设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511767321.9 | 2025-11-27 | CN121888926A | 2026-04-17 | 张申申 |
| 22 | 载具搬运方法、系统、装置及计算设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511764667.3 | 2025-11-27 | CN121925077A | 2026-04-24 | 李迅、范东方、王贵石、张更 |
| 23 | 一种具有集成式温度补偿的双面抛光系统及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511755203.6 | 2025-11-26 | CN121552239A | 2026-02-24 | 王俊夫 |
| 24 | 晶圆生产的控制方法、装置、设备、系统及存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511755100.X | 2025-11-26 | CN121865897A | 2026-04-14 | 赵恒、范东方、陈建勇、张钊 |
| 25 | 确定硅片放置方向的方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511722852.6 | 2025-11-21 | CN121837362A | 2026-04-10 | 李康康 |
| 26 | 一种包装袋折袋装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511711385.7 | 2025-11-20 | CN121536561A | 2026-02-17 | 李毅波、苏建生、韩嘉豪、王奕杰 |
| 27 | 在双面抛光中抑制晶圆划伤的系统、方法及双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511711576.3 | 2025-11-20 | CN121589713A | 2026-03-03 | 王俊夫 |
| 28 | 晶棒拉速的优化方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511712015.5 | 2025-11-20 | CN121903418A | 2026-04-21 | 秦浩、庞鲁、王龙、同嘉锡 |
| 29 | 一种清洗装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511659712.9 | 2025-11-13 | CN121468400A | 2026-02-06 | 蔡培锋、周勤学 |
| 30 | 一种调整双面抛光设备参数的方法、装置和介质 | 发明专利 | 公布 | CN202511664476.X | 2025-11-13 | CN121832444A | 2026-04-10 | 王俊夫、周勤学、王龙飞、杨轩、马驰 |
| 31 | 用于检测物体表面缺陷的方法、装置、系统及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511655376.0 | 2025-11-12 | CN121740778A | 2026-03-27 | 付子成、党志伟 |
| 32 | 用于抛光载盘的预清洗装置、自适应抛光系统及清洗方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511645965.0 | 2025-11-11 | CN121821244A | 2026-04-10 | 王俊夫 |
| 33 | 改善抛光垫平坦度的方法、双面抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511602298.8 | 2025-11-04 | CN121132500A | 2025-12-16 | 杨轩、柴朝军、马驰、王俊夫、邢东 |
| 34 | 工艺腔室的判定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511592258.X | 2025-11-03 | CN121443034A | 2026-01-30 | 孙毅、韩喜盈 |
| 35 | 用于抛光垫的检测及清洗装置、方法及抛光设备 | 发明专利 | 公布 | CN202511551473.5 | 2025-10-28 | CN121670508A | 2026-03-17 | 马驰、杨轩、王俊夫 |
| 36 | 校准系统及校准方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511515728.2 | 2025-10-22 | CN121666003A | 2026-03-13 | 杨舒乐 |
| 37 | 硅片处理装置及方法 | 发明专利 | 公布 | CN202511499502.8 | 2025-10-20 | CN121665970A | 2026-03-13 | 郭宏雁、郝胤祚、马成琛、冯智、赵栋、贾晓东 |
| 38 | 研磨盘的平坦度测量装置及研磨盘的平坦度测量方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511479663.0 | 2025-10-16 | CN121083517A | 2025-12-09 | 樊明溪、孙介楠、李龙、张鑫 |
| 39 | 一种硅片加工方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511480666.6 | 2025-10-16 | CN121310863A | 2026-01-09 | 蔡培锋、周勤学 |
| 40 | 砂轮修整设备、砂轮修整方法、装置、设备、产品及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511418705.X | 2025-09-30 | CN121104902A | 2025-12-12 | 朱海海 |
| 41 | 抛光垫清洗装置及抛光设备 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511425890.5 | 2025-09-30 | CN121267779A | 2026-01-06 | 王俊夫、马驰、杨轩 |
| 42 | 一种硅片缺陷检测方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511418677.1 | 2025-09-30 | CN121358253A | 2026-01-16 | 史铁柱、庞鲁、王龙、贺鹏、原宇乐 |
| 43 | 晶圆的金属水平检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511426097.7 | 2025-09-30 | CN121510933A | 2026-02-10 | 高坤、林可、李康康 |
| 44 | 一种用于检测薄膜沉积异常的装置和方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511347420.1 | 2025-09-19 | CN121443032A | 2026-01-30 | 程辰辰、郝宁 |
| 45 | 硅片边缘刻蚀装置和硅片边缘刻蚀方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511297217.8 | 2025-09-11 | CN121149050A | 2025-12-16 | 贾帅、王力 |
| 46 | 外延反应腔室恢复方法和外延生长装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511274241.X | 2025-09-08 | CN121137798A | 2025-12-16 | 韩喜盈、张海博、金柱炫、孙毅、刘凯 |
| 47 | 晶圆加工设备的状态检测方法、装置、设备及介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511219751.7 | 2025-08-28 | CN121275374A | 2026-01-06 | 李昊、刘永亮、胡斌 |
| 48 | 一种外延生长设备和外延生长方法 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511206362.0 | 2025-08-27 | CN121250545A | 2026-01-02 | 马成琛、郭盾、贾晓东、郝胤祚 |
| 49 | 一种拦截策略确定方法及装置 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511189436.4 | 2025-08-25 | CN121051383A | 2025-12-02 | 马强强、万珣 |
| 50 | 一种标签检测方法、装置、设备及计算机存储介质 | 发明专利 | 实质审查的生效、公布 | CN202511111982.6 | 2025-08-08 | CN121190956A | 2025-12-23 | 叶森、冯智、郭盾、赵栋、郝胤祚 |
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